[发明专利]多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法

说明书

本发明为多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法。多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法，包括：将污染的氟利昂通过压缩机输送到高冷器；高冷器中的氟利昂气体输送到干燥后的装有活性炭的实验罐进行吸附，氟利昂液体部分进入储罐，再输送到蒸发器中，变为气态后，输送至压缩机；实验罐中吸附后的氟利昂再输送到压缩机；在实验罐出口处用PH试纸检测，判断是否净化干净。本发明所述的多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法，该方法节能，工作量少，操作安全风险低，操作方便，利用吸附塔的工作原理，净化污染的氟利昂，净化方法简单；并且可采用多晶硅生产设备中的现有设备对污染的氟利昂进行净化，投资成本低，使用后效果明显，对环境无污染。

技术领域

本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法。

背景技术

在多晶硅生产中，氟利昂蒸发器列管破损，导致管程中酸性物料进入壳程氟利昂系统，，酸性物料进入氟利昂R22中，使氟利昂R22污染变为酸性，影响制冷效果，同时氟利昂压缩机润滑油也会被污染为酸性，降低其润滑性能，影响氟利昂压缩机的使用寿命或直接损坏，影响生产稳定且增加设备维护成本。还影响他蒸发器的寿命、机组阴阳转子及润滑油的使用周期。被污染的氟利昂不能直接对空排放，破坏臭氧层，环境污染。其次，由于回收厂家不接收污染的氟利昂，被污染的R22中含有少量的润滑油，导致污染的R22查找回收厂家比较困难，费用较高。

但是，被污染的氟利昂不进行处理，长时间使用会腐蚀设备管道，增加维修成本。可是，更换氟利昂及润滑油，需要停车处理，更换氟利昂大概需要30吨左右，更换成本高，并且影响生产。

有鉴于此，本发明提出多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法，该方法节能、环保，减少工作量，投资成本较低，使用后效果明显。

发明内容

本发明的目的在于提供多晶硅生产设备中污染的氟利昂的净化方法，该方法利用吸附塔的工作原理和活性炭的吸附特性，有效净化氟利昂，使其可以重新利用，降低工业维修成本。

为了实现上述目的，所采用的技术方案为：

多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法，包括以下步骤：

将污染的氟利昂通过压缩机，输送到高冷器；

高冷器中的氟利昂气体部分输送到干燥后的装有活性炭的实验罐进行吸附；另一部分氟利昂液体部分进入储罐，再输送到蒸发器中，变为气态后，输送至压缩机；

实验罐中吸附后的氟利昂输送到压缩机；

在实验罐出口处用PH试纸检测，试纸变红，断开气相，停止吸附，将实验罐隔离，用热氮气进行再生处理后，再继续进行吸附处理；直至试纸不变色，停止吸附。

进一步的，所述的压缩机为螺杆压缩机。

进一步的，所述实验罐的干燥过程为：通过热氮气对活性炭进行干燥，干燥至实验罐压力漏点为-75～-65℃。

再进一步的，所述的实验罐干燥至实验罐压力漏点为-70℃。

进一步的，所述氮气通过列管式换热器进行加热。

再进一步的，所述氮气采用蒸汽加热。

进一步的，所述实验罐为车间内的移动收集罐。

进一步的，所述实验罐中吸附后的氟利昂与蒸发器气相出口会和后，输送到压缩机。

进一步的，所述的再生处理与上述的实验罐的干燥过程相同。

与现有技术相比，本发明的有益之处在于：