[发明专利]电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法

权利要求书

1.一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，包括支撑件、坩埚基座、底座(5)和固定件，支撑件包括支撑件主体(1)和支撑件支腿(11),支撑件支腿(11)上设有吊孔(18)；坩埚基座包括旋转臂(4)和坩埚基座主体(6)，坩埚基座主体(6)设有放置坩埚(8)的空间，旋转臂(4)对称固定于坩埚基座主体(6)的两侧，坩埚基座主体(6)的底部固定有挂件(7)；底座(5)两侧的顶部开设有槽体(3)，所述旋转臂(4)放置于槽体(3)中，坩埚基座以旋转臂(4)为轴，可在底座(5)上自由旋转；坩埚(8)由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上,支撑件放置于坩埚(8)上表面,支撑件由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上。

2.根据权利要求1所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述坩埚基座主体(6)包括坩埚基座支架(15)和坩埚基座顶面(16)，所述旋转臂(4)对称固定于坩埚基座顶面(16)的两侧，坩埚基座顶面(16)的中部设有坩埚安置孔，坩埚本体可放入坩埚安置孔中，坩埚沿体卡放在坩埚基座顶面(16)上；坩埚基座支架(15)与坩埚基座顶面(16)固定连接，坩埚基座支架(15)和坩埚基座顶面(16)围成容纳坩埚本体的空间；支撑件主体(1)的边缘设有若干个第一固定孔(17)，坩埚基座顶面(16)设有若干个第二固定孔(14)和若干个第三固定孔(13)，所述固定件包括第一固定件(2)和第二固定件(10)，第一固定件(2)插接在第一固定孔(17)和第二固定孔(14)中，将支撑件和坩埚基座固定，第二固定件(10)插接在第三固定孔(13)和设于坩埚边沿的第四固定孔中，将坩埚(8)和坩埚基座固定。

3.根据权利要求1所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述支撑件主体(1)靠近硅锭(9)的一面设有硅锭支撑体(12)，所述硅锭支撑体(12)向硅锭(9)方向延伸，硅锭支撑体(12)的自由端接近或抵住硅锭(9)。

4.根据权利要求1所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述支撑件和坩埚基座为金属框架式结构。

5.根据权利要求1所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述挂件(7)为吊环，吊环数量为一个，吊环设于坩埚支架底部中心位置。

6.根据权利要求1所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述支撑件主体(1)为圆形，所述圆形支撑件主体(1)的面积大于坩埚(8)上表面的面积,所述坩埚基座顶面(16)为圆环形顶面。

7.根据权利要求3所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述硅锭支撑体(12)为环形，硅锭支撑体(12)与支撑件主体(1)呈同心圆设置。

8.根据权利要求1所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，其特征在于，所述支撑件支腿(11)为一端固定于支撑件主体(1)上的长形板，所述吊孔(18)开设于长形板的板体上。

9.一种电子束熔炼后硅锭的拆卸方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将电子束熔炼完成后，盛有硅锭(9)的坩埚(8)从电子束设备上拆下；

2)用起吊机构吊起坩埚(8)，将其放置在硅锭拆卸装置的坩埚基座上；

3)用固定件将坩埚(8)固定在坩埚基座上；

4)将支撑件放置在坩埚(8)的上表面；

5)用固定件将支撑件固定在坩埚基座上；

6)用起吊机构挂住坩埚基座底部的挂件(7)，将坩埚基座挂在起吊机构上；

7)升起起吊机构，使坩埚基座、坩埚(8)、硅锭(9)和支撑件整体以旋转臂(4)的连线为轴，在底座(5)槽体(3)中旋转；

8)当坩埚基座、坩埚(8)、硅锭(9)和支撑件整体旋转180°后，用起吊机构将坩埚基座、坩埚(8)、硅锭(9)和支撑件整体从底座(5)上吊起并放置在平稳地面上；

9)将连接支撑件与坩埚基座的固定件拆卸，用起吊机构将坩埚基座与坩埚(8)吊起，使硅锭(9)与坩埚(8)分离并稳定放置在支撑件上，且硅锭(9)底部向上；

10)用起吊机构吊运坩埚基座与坩埚(8)，将坩埚基座旋转臂(4)对准底座(5)的槽体(3)放入，降下起吊机构，旋转臂(4)在槽体(3)内由于重力作用自动旋转，实现坩埚基座与坩埚(8)的正向复位；

11)拆下固定坩埚(8)与坩埚基座的固定件，用起吊机构将坩埚(8)吊走。