[发明专利]电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法

说明书

本发明涉及一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法，属于硅材料提纯技术领域。其包括支撑件、坩埚基座、底座和固定件，支撑件包括支撑件主体和支撑件支腿，支撑件支腿上设有吊孔；坩埚基座包括旋转臂和坩埚基座主体，坩埚基座主体设有放置坩埚的空间，旋转臂对称固定于坩埚基座主体的两侧，坩埚基座主体的底部固定有挂件；底座两侧的顶部开设有槽体，所述旋转臂放置于槽体中，坩埚基座可以旋转臂为轴，在底座上自由旋转；坩埚由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上,支撑件放置于坩埚上表面,支撑件由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上。本发明的设备和方法增加了坩埚的使用寿命，可实现硅锭拆卸和硅锭喷砂连续作业，提高作业效率。

技术领域

本发明涉及一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法，属于硅材料提纯技术领域。

背景技术

电子束熔炼完成后，硅锭需要从坩埚内取出，常规方法为坩埚底部开有工艺孔，将硅锭通过工艺孔从底部顶出，并用叉车或托运装置运走，该方法从安全角度考虑具有一定操作危险性，同时，坩埚底部开有工艺孔，会降低铜坩埚的使用寿命。

另外，由于电子束熔炼后的硅锭需要进行底部及侧面的喷砂处理，因此传统方法下需要再将硅锭进行翻转后再将其放置在喷砂机上进行喷砂，增加操作难度。

发明内容

针对现有技术存在的上述缺陷，本发明提出了一种新的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置和拆卸方法。

本发明是采用以下的技术方案实现的：

一种电子束熔炼后硅锭的拆卸装置，包括支撑件、坩埚基座、底座和固定件，支撑件包括支撑件主体和支撑件支腿,支撑件支腿上设有吊孔；坩埚基座包括旋转臂和坩埚基座主体，坩埚基座主体设有放置坩埚的空间，旋转臂对称固定于坩埚基座主体的两侧，坩埚基座主体的底部固定有挂件；底座两侧的顶部开设有槽体，所述旋转臂放置于槽体中，坩埚基座可以旋转臂为轴，在底座上自由旋转；坩埚由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上,支撑件放置于坩埚上表面,支撑件由固定件可拆卸地固定于坩埚基座上。所述支撑件支腿固定于支撑件主体远离硅锭的一侧，支撑件支腿在硅锭翻转之后可作为支撑脚使用。支撑件支腿使坩埚基座、坩埚、硅锭和支撑件整体放置在地面上时，支撑件主体与地面之间存在一个间隙，该间隙可供叉车的叉子插入，易于搬运。熔炼后的坩埚固定在坩埚基座之后，用起吊机构挂住设于支撑件支腿的吊孔将支撑件吊装到坩埚的上表面上。

现有技术主要存在两方面的问题：

1、电子束熔炼完成后，硅锭需要从坩埚内取出，常规方法为坩埚底部开有工艺孔，将硅锭通过工艺孔从底部顶出，并用叉车或托运装置运走，该方法从安全角度考虑具有一定操作危险性，同时，坩埚底部开有工艺孔，会降低坩埚的使用寿命。

2、由于电子束熔炼后的硅锭需要进行底部及侧面的喷砂处理，因此传统方法下需要再将硅锭进行翻转后再将其放置在喷砂机上进行喷砂，增加操作难度。

本发明无需在坩埚底部开设工艺孔，增加了坩埚的使用寿命。且在实现硅锭拆卸的过程中同时实现硅锭翻转，可实现硅锭拆卸和硅锭喷砂连续作业，提高作业效率。

本发明所述的电子束熔炼后硅锭的拆卸装置结构简单，避免了采用翻转电机等结构，节省了设备本身的成本，降低了设备的运行能耗。

进一步地，所述坩埚基座主体包括坩埚基座支架和坩埚基座顶面，所述旋转臂对称固定于坩埚基座顶面的两侧，坩埚基座顶面的中部设有坩埚安置孔，坩埚本体可放入坩埚安置孔中，坩埚沿体卡放在坩埚基座顶面上；坩埚基座支架与坩埚基座顶面固定连接，坩埚基座支架和坩埚基座顶面围成容纳坩埚本体的空间；支撑件主体的边缘设有若干个第一固定孔，坩埚基座顶面设有若干个第二固定孔和若干个第三固定孔，所述固定件包括第一固定件和第二固定件，第一固定件插接在第一固定孔和第二固定孔中，将支撑件和坩埚基座固定，第二固定件插接在第三固定孔和设于坩埚边沿的第四固定孔中，将坩埚和坩埚基座固定。