[发明专利]装片用吸嘴的使用方法在审
申请号: | 201811219597.3 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN111081621A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 葛建秋;张彦;陈玲 | 申请(专利权)人: | 江阴苏阳电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/50 |
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地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装片用吸嘴 使用方法 | ||
本发明,装片用吸嘴的使用方法,主要是针对芯片的装载工序,通过吸嘴将芯片从切割完成的晶圆上取下,然后放置到承载座上。装片用吸嘴直接与芯片相接触,如果吸嘴使用不当,必然会导致芯片安装的失败,造成残次品;本发明通过规范装片用吸嘴的使用方法,从根本上确保吸片的稳定、可靠,最终确保芯片封装的稳定、可靠,提高成品率。
技术领域
本发明涉及芯片封装行业,具体涉及装片前对装片用吸嘴的使用方法。
背景技术
随着科技发展,电子产业突飞猛进,各种集成、控制电路需求急剧增长,对芯片封装的需求也增长迅猛。
芯片封装是指,将精密的半导体集成电路芯片安装到框架上,然后利用引线将芯片与框架引脚相连接,最后用环氧树脂将半导体集成电路芯片固封起来,外界通过引脚与内部的芯片进行信号传输。封装主要是对精密的半导体集成电路芯片进行固封,使半导体集成电路芯片在发挥作用的同时,不受外界湿度、灰尘的影响,同时提供良好的抗机械振动或冲击保护,提高半导体集成电路芯片的适用性。同时封装在金属框架上,增加了散热面积,提高了芯片的运行可靠性。
装片,作为芯片封装中一个重要的环节,即利用粘结剂或铅锡焊料将细小的半导体集成电路芯片初步固定到框架承载座上,为后续的引线焊接及固封提供支撑。
而将细小精密的芯片从晶圆上取下,然后放大承载座上,则必须依赖专用的装片用吸嘴,常规操作中该环节控制不当,极易造成装片失效,进而影响最终的产品成品率。
发明内容
本发明的目的是提供装片用吸嘴的使用方法,以弥补现有测量过程中的不足。
为了达到上述目的,本发明提供了装片用吸嘴的使用方法,步骤如下:
步骤1、吸嘴类型的确定:
(1)铅锡焊料装片使用高温橡胶吸嘴;
(2)导电胶装片使用普通橡胶吸嘴;
步骤2、根据芯片尺寸确定吸嘴尺寸:
(1)矩形吸嘴,根据芯片长边尺寸X,定吸嘴的长边尺寸A=(0.7~0.9)×X;
根据芯片短边尺寸Y,定吸嘴的短边尺寸B=(0.7~0.9)×Y;
上述A、B根据实际吸嘴尺寸进行选择;
(2)圆形吸嘴,根据芯片短边尺寸Y,定吸嘴的直径Ф= (0.7~0.9) ×Y;
上述Ф根据实际吸嘴尺寸进行选择;
步骤3、吸嘴的安装与维护:
(1)吸嘴的寿命控制,在完成新吸嘴安装后,设置设备内计数器为100K,当设备的吸嘴寿命报警提示后,需立即更换;
(2)吸嘴的维护,每次使用设备前,需检查吸嘴是否清洁、堵塞或破损;
(3)吸嘴的安装,安装新吸嘴时需戴好指套操作;
根据实际吸嘴尺寸确定A、B时,当有多个吸嘴尺寸可选时,选A×B数值最大的吸嘴。
优选的,所述圆形吸嘴的直径Ф为圆形吸嘴端部外径。
优选的,上述根据实际吸嘴尺寸确定Ф时,当有多个吸嘴尺寸可选时,选Ф值最大的吸嘴。
本发明的装片用吸嘴的使用方法,用于针对芯片封装中的装片工序。本发明的有益效果是:根据不同的芯片固化类型及芯片大小,来分别确定芯片固化强度的测试标准,并制定不同的测试加载速度,及最终判定标准,以此来明确芯片固化效果,便于操作。
具体实施方式
本发明主要针对芯片封装过程中的装片工序,提供了装片用吸嘴的使用方法,具体步骤如下:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造