[发明专利]磁控溅射装置

权利要求书

1.一种磁控溅射装置，其特征在于，包括带有溅射腔的第一壳体、磁控靶、载板、第一抽气设备与第二抽气设备；其中，

所述磁控靶设置于所述第一壳体顶部，用于向所述溅射腔内溅射靶原子；

所述载板包括相连接的第一承载部和第二承载部，所述第一承载部位于所述溅射腔内，所述第一承载部用于承载基片，所述第一承载部与所述磁控靶相对设置；

在所述第一壳体上开设有第一抽气孔和第二抽气孔；

所述第一承载部和所述第二承载部均位于所述第一抽气孔和所述第二抽气孔之间；

所述第一抽气设备与所述第一抽气孔相连通，所述第二抽气设备与所述第二抽气孔相连通；

所述第一抽气设备和所述第二抽气设备用于抽取所述溅射腔内的气体。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第一壳体具有多个第一壳壁，其中，所述第一抽气孔和所述第二抽气孔能够设置在任意一个所述第一壳壁上，设置所述第一抽气孔和所述第二抽气孔的第一壳壁为第一拼接壳壁；

所述第一抽气孔朝向所述第一承载部承载所述基片的一侧设置，所述第二抽气孔朝向远离所述第一承载部承载所述基片的一侧设置。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述磁控溅射装置还包括第二壳体，所述第二壳体中设有抽气腔；

所述第二壳体具有多个第二壳壁，各所述第二壳壁均能够与所述第一拼接壳壁相拼接，与所述第一拼接壳壁进行拼接的第二壳壁为第二拼接壳壁，在所述第二拼接壳壁上开设有第一窗口与第二窗口，所述第一窗口与所述第一抽气孔连通，所述第二窗口与所述第二抽气孔连通；

所述第一抽气设备和所述第二抽气设备均设置于所述第二壳体上。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二抽气设备包括罩体、抽气管道与抽气泵；

所述罩体设置于所述第二拼接壳壁上，并罩住所述第二窗口；

所述抽气管道设置于所述抽气腔内，所述抽气管道的一端与所述罩体相连接，所述抽气管道的另一端与所述第二壳体的底部相连接；

所述抽气泵设置于所述第二壳体的底部，所述抽气泵与所述抽气管道相连接。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射装置，其特征在于，

当所述第一抽气设备抽取所述溅射腔内的气体时，所述抽气腔、所述第一窗口和所述第一抽气孔相连通，和/或，所述抽气腔、所述第一窗口、所述罩体、所述第二窗口和所述第二抽气孔相连通；

当所述第二抽气设备抽取所述溅射腔内的气体时，所述第二窗口和所述第二抽气孔相连通，和/或，所述抽气管道、所述罩体、所述第二窗口和所述第二抽气孔相连通。

6.根据权利要求4所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述罩体与所述第二拼接壳壁可拆卸连接。

7.根据权利要求3所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二窗口有两组，所述两组第二窗口分别沿平行于所述第一承载部的方向开设。

8.根据权利要求3所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第一窗口有多组，各组所述第一窗口沿平行于所述第一承载部的方向依次排列。

9.根据权利要求8所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述磁控溅射装置还包括一个调节片，所述调节片与所述第二拼接壳壁可拆卸连接，所述调节片用于封闭其中一个所述第一窗口。

10.根据权利要求8所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述磁控溅射装置还包括多个调节片，各所述调节片与所述第二拼接壳壁可拆卸连接，所述调节片的数量少于所述第一窗口的数量，一个所述调节片仅用于封闭一个所述第一窗口。