[发明专利]半导体设备的调度方法、调度装置及系统

权利要求书

1.一种半导体设备的调度方法，所述半导体设备包括多个功能模块，所述调度方法用于调度多个任务，其中每个任务用于将至少一片晶圆从晶盒中取出并依次传输至其中多个所述功能模块后再传输入晶盒中，其特征在于，所述调度方法包括：

当前一任务中最后一片晶圆被传输至第一个所述功能模块时，获取前一任务涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态；

判断各所述功能模块中晶圆的分布状态是否符合辅助检测条件参数表，其中所述辅助检测条件参数表中规定前一任务进行稳定传输所涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态；

如果前一任务涉及的功能模块中晶圆的分布状态与所述辅助检测条件参数表一致，则启动后一任务的第一片晶圆的传输动作序列的计算；

在前一任务中最后一片晶圆被传输至第一个所述功能模块之前，该调度方法还包括建立所述辅助检测条件参数表的步骤，其包括：

获取前一任务的动态稳定传输动作序列；

确定所述动态稳定传输动作序列中前一任务中最后一片晶圆被从晶盒中取出前的所有传输动作完成时各功能模块中晶圆的分布状态，以该分布状态作为所述辅助检测条件参数表的项目内容。

2.根据权利要求1所述的调度方法，其特征在于，在所述启动后一任务的第一片晶圆的传输动作序列的计算后，该调度方法还包括：将后一任务的第一片晶圆从晶盒中取出并传输至一个所述功能模块。

3.根据权利要求1所述的调度方法，其特征在于，该调度方法还包括：如果前一任务涉及的功能模块中晶圆的分布状态与所述辅助检测条件参数表不一致，则不启动后一任务的第一片晶圆的传输动作序列的计算，待下一传输动作完成后，重新获取前一任务涉及的各功能模块中晶圆的分布状态并判断所述功能模块中晶圆的分布状态是否符合辅助检测条件参数表，直到前一任务涉及的功能模块中晶圆的分布状态与所述辅助检测条件参数表一致。

4.一种半导体设备的调度装置，所述半导体设备包括多个功能模块，所述调度装置用于调度多个任务，其中每个任务用于将至少一片晶圆从晶盒中取出并依次传输至其中多个所述功能模块后再传输入晶盒中，其特征在于，所述调度装置包括：

第一获取模块，用于获取前一任务中最后一片晶圆被传输至第一个所述功能模块的第一状态信息，并将该第一状态信息发送至第二获取模块；

第二获取模块，用于在接收到第一状态信息时，获取前一任务涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态；

判断模块，用于判断前一任务涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态是否符合辅助检测条件参数表，其中所述辅助检测条件参数表中规定前一任务进行稳定传输所涉及的各所述功能模块中晶圆的分布状态，如果判断为是则向计算模块输出启动信号；

所述计算模块，用于在接收到所述启动信号的情况下启动计算后一任务的第一片晶圆的传输动作序列；

所述调度装置还包括参数表生成模块，用于获取前一任务的动态稳定传输动作序列，确定所述动态稳定传输动作序列中前一任务中最后一片晶圆被从晶盒中取出前的所有传输动作完成时各功能模块中晶圆的分布状态，以该分布状态作为所述辅助检测条件参数表的项目内容。

5.根据权利要求4所述的调度装置，其特征在于，所述调度装置还包括执行模块，用于根据所述计算模块的计算结果将后一任务的第一片晶圆从晶盒中取出并传输至一个所述功能模块。

6.一种半导体设备系统，其特征在于，包括根据权利要求4-5任意一项所述的半导体设备的调度装置，还包括半导体设备，所述半导体设备包括多个功能模块，所述调度装置用于调度多个任务，其中每个任务用于将至少一片晶圆从晶盒中取出并依次传输至其中多个所述功能模块后再传输入晶盒中。

7.根据权利要求6所述的半导体设备系统，其特征在于，所述功能模块包括预抽真空腔室和工艺腔室。