[发明专利]片材夹具及沉积设备

权利要求书

1.一种片材夹具，其特征在于，包括传动单元(1)、送料件(2)和沉积板(3)；

所述送料件(2)位于所述沉积板(3)的上方，片材(4)装载在所述沉积板(3)上，所述传动单元(1)通过带动所述送料件(2)运动从而带动所述片材(4)移动。

2.根据权利要求1所述的片材夹具，其特征在于，所述送料件(2)包括滚轮，所述片材(4)位于所述滚轮与所述沉积板(3)之间，所述滚轮能够带动所述片材(4)沿所述沉积板(3)移动。

3.根据权利要求1所述的片材夹具，其特征在于，所述传动单元(1)包括第一传动件(11)和第二传动件(12)，所述第一传动件(11)能够带动所述第二传动件(12)转动，所述第二传动件(12)用于驱动所述送料件(2)运动。

4.根据权利要求3所述的片材夹具，其特征在于，所述第一传动件(11)包括蜗杆(112)，所述第二传动件(12)包括蜗轮，所述蜗轮与所述蜗杆(112)配合。

5.根据权利要求3所述的片材夹具，其特征在于，所述第一传动件11包括传动部(111)和蜗杆(112)，所述传动部(111)套设于所述蜗杆(112)上并与所述蜗杆(112)同步运动；

所述第二传动件(12)包括蜗轮，所述蜗轮与所述蜗杆(112)配合。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的片材夹具，其特征在于，所述片材夹具包括收集盒(5)，所述收集盒(5)位于所述沉积板(3)靠近所述送料件(2)的一侧并用于收集已沉积的片材(4)；

和/或，所述片材夹具包括第一支座(21)，所述第一支座(21)位于所述送料件(2)的侧面并用于支撑所述送料件(2)；

和/或，所述片材夹具包括第二支座(31)，所述第二支座(31)位于所述沉积板(3)的侧面并用于支撑所述沉积板(3)。

7.根据权利要求3-5任意一项所述的片材夹具，其特征在于，所述第一传动件(11)为铜质传动件；

和/或，所述第二传动件(12)为铜质传动件。

8.一种沉积设备，其特征在于，包括炉体，权利要求1-7任意一项所述的片材夹具位于所述炉体内部，所述片材夹具与所述炉体可拆卸固定连接。

9.根据权利要求8所述的沉积设备，其特征在于，所述炉体内部设有衬底平台(6)，所述衬底平台(6)上设有可旋转样品台(7)和至少两个热丝固定架(8)，所述热丝固定架(8)通过电极柱(10)与所述衬底平台(6)连接，所述热丝固定架(8)之间设置有热丝(9)，所述可旋转样品台(7)位于所述热丝(9)的下方；

所述可旋转样品台(7)能够带动所述片材夹具的所述传动单元(1)和所述送料件(2)运动从而带动所述片材(4)移动。

10.根据权利要求9所述的沉积设备，其特征在于，所述可旋转样品台(7)与所述片材夹具的所述传动单元(1)之间采用齿轮传动、皮带传动或链传动。