[发明专利]片材夹具及沉积设备

说明书

本发明提供了一种片材夹具及沉积设备，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该片材夹具包括传动单元、送料件和沉积板，送料件位于沉积板的上方，片材装载在沉积板上，传动单元通过带动送料件运动从而带动片材移动；该片材夹具通过带动片材沿沉积板连续移动，使得片材的待沉积部分连续通过热丝对应的有效沉积区域，进而实现片材由待沉积状态向已沉积状态转变，故采用该夹具能够连续沉积片材面积大于沉积设备有效沉积范围的片材，可大大提高沉积效率，缩短生产周期，降低生产成本；该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积设备原有的结构和部件。本发明还提供一种沉积设备，包括炉体，上述片材夹具位于炉体内，片材夹具与炉体可拆卸固定连接。

技术领域

本发明涉及涂层沉积辅助设备技术领域，尤其是涉及一种片材夹具及沉积设备。

背景技术

随着化学气相沉积金刚石技术的发展，化学气相沉积金刚石用途越来越广泛。化学气相沉积制备金刚石粉的原理是利用金刚石与铜箔之间较大的热膨胀性质的差异，利用化学气相沉积设备在800℃条件下在铜箔上沉积金刚石薄膜，在冷却的过程中金刚石薄膜由于受到较大的热应力会自然的从铜箔上脱落下来，将脱落下来的薄膜碎片进行后续的加工，即可制得金刚石粉末，该方法还可以制备各种掺杂其他元素的金刚石粉末。

但是现有的在利用化学气相沉积制备金刚石粉过程中，是直接将沉积样品放置在设备原装样品台上，被沉积样品尺寸局限较大，沉积效率不高；另外，原装样品台无法收集从铜箔上脱落的金刚石薄膜碎片，导致开炉子后薄膜损失较大。

有鉴于此，特提出本发明能够解决上述问题中的至少一个。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种片材夹具，在不改变沉积设备的基本结构条件下，利用该片材夹具可连续沉积片材面积大于沉积设备有效沉积范围的片材，极大的减少了一些中间过程，有利于提高沉积效率和降低生产成本。

本发明的第二目的在于提供一种沉积设备，使用上述片材夹具进行沉积操作。

为解决上述技术问题，本发明特采用如下技术方案：

本发明提供了一种片材夹具，包括传动单元、送料件和沉积板；

所述送料件位于所述沉积板的上方，片材装载在所述沉积板上，所述传动单元通过带动所述送料件运动从而带动所述片材移动。

进一步的，在本发明技术方案的基础之上，所述送料件包括滚轮，所述片材位于所述滚轮与所述沉积板之间，所述滚轮能够带动所述片材沿所述沉积板移动。

进一步的，在本发明技术方案的基础之上，所述传动单元包括第一传动件和第二传动件，所述第一传动件能够带动所述第二传动件转动，所述第二传动件用于驱动所述送料件运动。

进一步的，在本发明技术方案的基础之上，所述第一传动件包括蜗杆，所述第二传动件包括蜗轮，所述蜗轮与所述蜗杆配合。

进一步的，在本发明技术方案的基础之上，所述第一传动件包括传动部和蜗杆，所述传动部套设于所述蜗杆上并与所述蜗杆同步运动；

所述第二传动件包括蜗轮，所述蜗轮与所述蜗杆配合。

进一步的，在本发明技术方案的基础之上，所述片材夹具包括收集盒，所述收集盒位于所述沉积板靠近所述送料件的一侧并用于收集已沉积的片材；

和/或，所述片材夹具包括第一支座，所述第一支座位于所述送料件的侧面并用于支撑所述送料件；

和/或，所述片材夹具包括第二支座，所述第二支座位于所述沉积板的侧面并用于支撑所述沉积板。

进一步的，在本发明技术方案的基础之上，所述第一传动件为铜质传动件；

和/或，所述第二传动件为铜质传动件。