[发明专利]一种移料机构及PVD镀膜设备

权利要求书

1.一种移料机构，其特征在于，包括：

固定件(1)；

滑动组件(2)及驱动组件(3)，所述驱动组件(3)设置于所述固定件(1)上，且能够带动所述滑动组件(2)往复运动；

第一夹具(4)及第二夹具(5)，所述第一夹具(4)连接于所述滑动组件(2)一端，所述第二夹具(5)滑动设置于所述滑动组件(2)上，且所述第二夹具(5)能够选择性的连接于所述固定件(1)或所述滑动组件(2)连接所述第一夹具(4)的一端。

2.根据权利要求1所述的移料机构，其特征在于，所述滑动组件(2)包括滑动件，所述滑动件能够滑动的设置于所述固定件(1)上，所述第一夹具(4)连接于所述滑动件一端，所述第二夹具(5)能够滑动的设置于所述滑动件上。

3.根据权利要求2所述的移料机构，其特征在于，所述固定件(1)上相对开设有两个第一滑槽(121)；

所述滑动件包括两个竖直设置的滑轨(21)和连接于两个所述滑轨(21)之间的连接块(22)，两个所述滑轨(21)和两个所述第一滑槽(121)一一对应。

4.根据权利要求2所述的移料机构，其特征在于，所述滑动组件(2)还包括连接于所述滑动件的连接件(23)；

所述驱动组件(3)连接于所述连接件(23)。

5.根据权利要求4所述的移料机构，其特征在于，所述连接件(23)为竖直设置的齿状结构；

所述驱动组件(3)包括第一驱动件(31)和能够与所述齿状结构相啮合的齿轮(32)，所述第一驱动件(31)的输出端连接于所述齿轮(32)，能够带动所述齿轮(32)转动。

6.根据权利要求5所述的移料机构，其特征在于，所述移料机构还包括转动设置于所述固定件(1)上的两个辅动轮(13)，两个所述辅动轮(13)均抵压于齿状结构，且所述齿轮(32)位于两个所述辅动轮(13)之间。

7.根据权利要求1所述的移料机构，其特征在于，所述第二夹具(5)包括本体(51)，所述本体(51)能够滑动地设置于所述滑动组件(2)上；

当所述第二夹具(5)位于第一装配位置时，所述本体(51)连接于所述固定件(1)，当所述第二夹具(5)位于第二装配位置时，所述本体(51)连接于所述滑动组件(2)连接所述第一夹具(4)的一端。

8.根据权利要求7所述的移料机构，其特征在于，所述滑动组件(2)连接所述第一夹具(4)的一端设置有第一卡接件(24)；

所述本体(51)上设置驱动部和第二卡接件(54)，所述驱动部能够带动所述第二卡接件(54)卡接于或脱离所述第一卡接件(24)。

9.根据权利要求8所述的移料机构，所述驱动部包括第二驱动件(53)和复位组件，所述复位组件包括一端连接于所述本体(51)，另一端设置有限位块(551)的导向件及弹性件(552)，所述第二卡接件(54)和所述弹性件(552)均套设于所述导向件，且所述弹性件(552)位于所述第二卡接件(54)和所述限位块(551)之间，所述第二驱动件(53)能够推动所述第二卡接件(54)沿所述导向件滑动并压缩所述弹性件(552)。

10.一种PVD镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的移料机构。