[发明专利]微流体器件、微流体系统在审
申请号: | 201811231287.3 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN110713167A | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 冯雪;张柏诚;陈颖;付浩然;蒋晔;刘兰兰 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B1/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 33250 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李丽华 |
地址: | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 微流体器件 液态金属 电极 包覆层 微流体系统 信号发射器 信号接收器 一体成型 成型性 电源 伸出 | ||
本发明涉及一种微流体器件、微流体系统。所述微流体器件包括衬底、包覆层、液态金属和电极,所述衬底一体成型,所述包覆层设于所述衬底的内部,所述液态金属包裹于包覆层内,所述电极的一部分与所述液态金属接触,所述电极的另一部分伸出所述衬底外。本发明的微流体器件成型性好、性能优异、应用领域广泛,可与电源、信号发射器、信号接收器集成形成微流体系统。
本申请是“申请号为:201810771605.9,申请日为2018年7月13日,发明名称为:微流体器件及其制备方法、微流体系统”的发明申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及微流体领域,特别是涉及微流体器件、微流体系统。
背景技术
传统的微流体器件的制备方法主要有3D直写/打印技术,微流道注入工艺,压印技术以及激光加工技术等。但是,3D直写/打印技术无法做到好的水氧阻隔和封装,容易在表面形成金属氧化层;微流道注入工艺工艺复杂,且图形化和流道构型限制较多;压印技术得到的器件一体化成型较差;激光加工技术程序复杂,加工环节的适应性差。因此,传统的微流体器件的制备方法均存在各自方法上的缺点和不足,无法适应大规模的微流体器件的产业化生产。
发明内容
基于此,有必要针对微流体器件的产业化问题,提供一种微流体器件、微流体系统,所述微流体器件成型性好、性能优异、应用领域广泛,可与电源、信号发射器、信号接收器集成形成微流体系统。
一种微流体器件,所述微流体器件包括衬底、包覆层、液态金属和电极,所述衬底一体成型,所述包覆层设于所述衬底的内部,所述液态金属包裹于包覆层内,所述电极的一部分与所述液态金属接触,所述电极的另一部分伸出所述衬底外。
在其中一个实施例中,所述衬底的材料包括聚合物、熔点在300℃以下的金属及金属合金中的一种。
在其中一个实施例中,所述聚合物包括聚二甲基硅氧烷。
在其中一个实施例中,所述液态金属的材料包括镓合金。
在其中一个实施例中,所述镓合金为镓铟锡合金或共晶铟镓合金中的一种。
在其中一个实施例中,所述电极的电导率大于所述液态金属的电导率。
在其中一个实施例中,所述电极的材料包括银纳米线。
在其中一个实施例中,所述包覆层的材料包括光固化胶。
在其中一个实施例中,所述光固化胶的熔点大于等于200℃。
本发明微流体器件具有以下有益效果:
第一、微流体器件一体成型得到、成型性好,打破了固态金属对金属形状和几何设计的限制。
第二、微流体器件的弯曲、拉伸和耐冲击等性能接近于衬底的性能,性能优异。
第三、微流体器件长期使用后,液态金属中不会产生应力积累和金属疲劳,使用效果好、寿命高。
第四、微流体器件上的电极可直接连接外部电极,使用方便,应用领域广泛。
一种微流体系统,所述微流体系统包括如上述的微流体器件。
本发明利用上述微流体器件可以与电源、信号接收器、信号发射器等集成形成微流体系统,该微流体系统可应用于可穿戴设备、电路、通讯设备等领域,效果显著。
附图说明
图1为本发明微流体器件制备方法的流程示意图,图中,a为微流体器件。
具体实施方式
以下将对本发明提供的微流体器件及其制备方法、微流体系统作进一步说明。
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