[发明专利]可多元加热机构的基板烘烤机台

权利要求书

1.一种可多元加热机构的基板烘烤机台，其主要由一底座、控制器、腔体、加热机构及上盖所组成，该底座的侧边设有一控制器，而在底座上方放置腔体，并在该腔体内具有加热机构，并利用上盖封闭该腔体，其特征在于：该腔体内的加热机构由热板、红外线加热器及热风装置所构成，位于上盖下方设有红外线加热器，而该红外线加热器对应的腔体内则放置热板，并在腔体的一侧设置热风装置，使腔体内具有热传导、热辐射及热对流的多样热源，当烘烤时，由热板、红外线加热器及热风装置以上任意其二进行同时加热，能选择式操控热源的使用，且使热源能全面性且均匀地分布在腔体内。

2.如权利要求1所述可多元加热机构的基板烘烤机台，其特征在于，该热板、红外线加热器及热风装置都设置有复数个温度感应器。

3.如权利要求1所述可多元加热机构的基板烘烤机台，其特征在于，该热风装置的对应侧设有吸风元件，而能将吹出的热风由吸风排出，以形成热对流。