[发明专利]可多元加热机构的基板烘烤机台

说明书

本发明提供一种可多元加热机构的基板烘烤机台，其是一种用于基板烘烤机台的多种加热机构，将其搭配使用能提升腔体内的基板全面均匀受热，并降低不合格率。其主要系烘烤腔体内设有热板、红外线加热器及热风装置，即能运用热传导、热辐射及热对流对基板加热，以达到多元加热使基板能全方位受热，尤其本发明的多元加热机台能灵活操控热源的使用，以符合业者实务上的需求，实为一创新的可多元加热机构的基板烘烤机台。

技术领域

本发明涉及一种可多元加热机构的基板烘烤机台，其于腔体内设有红外线加热器、热板及热风装置，使腔体内运用不同的加热源，达到基板的均匀受热。

背景技术

玻璃基板是液晶显示装置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。

其次，液晶显示装置(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能系做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置(TFT-LCD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。

因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，该玻璃基板为相当精密的电子零件，绝对不容许玻璃基板上有任何的杂质、损伤或刮伤。当基板30进行烘烤时，请参阅图6所示，系将该基板30放置在腔体3内，一般都是经由基板30下方的热板31进行加热，再凭借热板31的热度使基板30表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70～150℃，且热板31的热源通常来自于底部的加热器311，而该加热器311则分区域设置在热板31下方，使热板31中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板31通常设置有1～15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响基板30的生产品质，尤其该基板30的端边301或局部，容易产生翘起或隆起，常导致该翘起或隆起的部分无法受热，因而造成基板30的不良。

此外，对业者而言，基板烘烤机台的成本极高，传统机台都是单一加热机构，其功能性及优、缺点不同，但都存在烘烤效能不佳的问题，尤其每款基板所采用的加热方式不同，也会影响烘烤的品质，对于采购何种加热机构的机台，实令业者相当头痛。

有鉴于此，发明人特别研发一种三合一加热机构，其系在烘烤机台内设置热板、红外线加热器及热风装置，能凭借不同的加热机构来弥补基板加热上的缺失，尤其能对基板端边、温度较低、翘起或隆起处加强热度，以达到基板的全面性均匀受热，并补足热板使用上的缺点，进一步降低烘烤上的不合格率，而为一理想可多元加热机构的基板烘烤机台。

发明内容

本发明涉及一种可多元加热机构的基板烘烤机台，其是一种用于光阻烘烤机台的多种加热机构，将其搭配使用能使腔体内的基板全面均匀受热，并降低不合格率。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种可多元加热机构的基板烘烤机台，其主要由一底座、控制器、腔体、加热机构及上盖所组成，该底座的侧边设有一控制器，而在底座上方放置腔体，并在该腔体内具有加热机构，并利用上盖封闭该腔体，其特征在于：该腔体内的加热机构由热板、红外线加热器及热风装置所构成，位于上盖下方设有红外线加热器，而该红外线加热器对应的腔体内则放置热板，并在腔体的一侧设置热风装置，使腔体内具有热传导、热辐射及热对流的多样热源，当烘烤时，由热板、红外线加热器及热风装置以上任意其二进行同时加热，能选择式操控热源的使用，且使热源能全面性且均匀地分布在腔体内。