[发明专利]单晶炉用新型连续加料装置在审
申请号: | 201811237423.X | 申请日: | 2018-10-23 |
公开(公告)号: | CN109023508A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 张建新 | 申请(专利权)人: | 宁夏旭樱新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 周晓梅;孙彦虎 |
地址: | 753000 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 过渡装置 储料装置 导出装置 投料装置 连续加料装置 固定装置 加热装置 单晶炉 入口端 上端 炉体 熔融 下端 装料 环绕设置 石英坩埚 加料 不均匀 出口端 硅液晶 硅棒 硅料 硅液 化料 拉晶 内壁 生产成本 出口 | ||
1.单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置,所述储料装置设置于炉体的下端,所述过渡装置的入口端与储料装置相连接,所述过渡装置设置于固定装置上端,所述过渡装置为漏斗形的腔体,所述液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接,所述液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上,所述液体导出装置为空心管体,所述加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧;
所述储料装置包括外管套、内管套,所述外管套环绕过渡装置设置,并延伸至固定装置上端,所述内管套底端设置于外管套中,并延伸至过渡装置锥形面与圆环形面交界处,所述内管套内部形成稳定的储料空间;
所述固定装置设置于炉体内部的支撑环上,且固定装置为空心的刚性管体,所述固定装置一端的内径大,所述固定装置另一端的内径小,所述固定装置外径大的一端还设置于通孔,用于在通孔中设置液体导出装置。
2.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:还包括投料装置,所述投料装置设置于炉体的上端,所述投料装置的正下端设置有储料装置,所述投料装置包括投料缸体、缸盖、空心螺纹管、环形密封件、绳轮、投料绳,所述投料缸体为内部中空的圆柱形缸体,投料缸体的顶端设置有缸盖,所述缸盖由透明的钢化玻璃制成,所述投料缸体底端设置有倾斜面,且在倾斜面的中心处开设有通孔,所述空心螺纹管一端设置于投料缸体倾斜面的通孔中,所述空心螺纹管另一端设置于炉体外壁上焊接的螺纹管中,所述环形密封件环绕空心螺纹管外壁设置,且环形密封件位于投料缸体倾斜面与炉体外壁之间,所述绳轮设置于靠近缸体顶端的内壁上,且绳轮表面开设有凹槽,所述投料绳设置于绳轮的凹槽中。
3.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述投料装置一侧还开设置有排气阀,用于抽除投料装置内部的气体;所述投料装置一侧还设置有进气阀,用于向投料装置内部冲入氩气;所述投料装置内部的底端还设置有密封盖,用于对投料装置底端倾斜面中心处的通孔进行密封,所述密封盖的一侧还设置有电机,用于驱动密封盖进行转动。
4.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述空心螺纹管长度不大于炉体、环形密封件的厚度之和,所述环形密封件内壁上设置有与空心螺纹管相匹配的螺纹,且环形密封件靠近倾斜面一端的内径大,用于与空心螺纹管外壁相设置,且环形密封件远离倾斜面一端的内径小,用于与炉体外壁上焊接的螺纹管相设置。
5.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述外管套一端内径小,另一端内径大,所述外管套内径小的一端与内管套相接触,所述外管套内径大的另一端也与内管套相接触,使外管套与内管套在接触区域形成空隙,所述过渡装置的上端设置于所述空隙中。
6.如权利要求1或5所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述外管套和所述内管套由高纯石墨制成。
7.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述过渡装置出口端与液体导出装置入口端相连接处的外壁上还设置有环形密封套,所述环形密封套由高纯石墨制成。
8.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述固定装置的通孔中还设置有固定管套,且固定管套一端内径大,另一端内径小,所述固定管套内径大的一端设置于环形密封套的外壁上,所述固定管套内径小的另一端设置于液体导出装置的外壁上,所述固定管套由高纯石墨制成。
9.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述过渡装置和所述液体导出装置由高纯石英制成。
10.如权利要求1所述的单晶炉用新型连续加料装置,其特征在于:所述加热装置包括第一加热铜管、第二加热铜管、第三加热铜管,所述第一加热铜管环绕设置于外管套的外壁上,所述第二加热铜管环绕设置于靠近支撑环处的固定管套外壁上,所述第三加热铜管换热设置于靠近石英坩埚处的固定管套外壁上。
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