[发明专利]单晶炉用新型连续加料装置

说明书

一种单晶炉用新型连续加料装置，包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置，还包括投料装置，投料装置设置于炉体的上端，投料装置的正下端设置有储料装置，储料装置设置于炉体的下端，过渡装置的入口端与储料装置相连接，过渡装置设置于固定装置上端，液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接，液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上，加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧；本发明彻底解决了现有技术硅料熔融后硅液晶相分布不均匀、硅液的一致性差的难题，不需预先装料，减少加料、化料的时间，提高硅棒熔融效率和水平，提高拉晶效率，有效的降低劳动强度和生产成本，同时因为其投入少，便于推广。

技术领域

本发明涉及单多晶技术领域，尤其涉及单晶炉用新型连续加料装置。

背景技术

目前单晶炉的装料基本都是将硅料预先放置于石英坩埚中，且硅料放置时还要将小块的硅料放置于石英坩埚的底部，将最大块的硅料放置于石英坩埚的中部，将中等大小的硅料放置于石英坩埚放在石英坩埚的最上端，硅料还有其它类似放置方式，硅料放置不符合工艺要求时，往往会造成硅料熔融后的硅液晶相分布不均匀，硅液的一致性差，对拉晶过程产生不利影响，如造成拉晶时间过长，晶棒品质欠佳，难以生产高纯度、晶相一致性好的晶棒。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种单晶炉用新型连续加料装置。

单晶炉用新型连续加料装置，包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置，所述储料装置设置于炉体的下端，所述过渡装置的入口端与储料装置相连接，所述过渡装置设置于固定装置上端，所述过渡装置为漏斗形的腔体，所述液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接，所述液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上，所述液体导出装置为空心管体，所述加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧；

所述储料装置包括外管套、内管套，所述外管套环绕过渡装置设置，并延伸至固定装置上端，所述内管套底端设置于外管套中，并延伸至过渡装置锥形面与圆环形面交界处，所述内管套内部形成稳定的储料空间；

所述固定装置设置于炉体内部的支撑环上，且固定装置为空心的刚性管体，所述固定装置一端的内径大，所述固定装置另一端的内径小，所述固定装置外径大的一端还设置于通孔，用于在通孔中设置液体导出装置。

优选的，本发明的单晶炉用新型连续加料装置还包括投料装置，所述投料装置设置于炉体的上端，所述投料装置的正下端设置有储料装置，所述投料装置包括投料缸体、缸盖、空心螺纹管、环形密封件、绳轮、投料绳，所述投料缸体为内部中空的圆柱形缸体，投料缸体的顶端设置有缸盖，所述缸盖由透明的钢化玻璃制成，所述投料缸体底端设置有倾斜面，且在倾斜面的中心处开设有通孔，所述空心螺纹管一端设置于投料缸体倾斜面的通孔中，所述空心螺纹管另一端设置于炉体外壁上焊接的螺纹管中，所述环形密封件环绕空心螺纹管外壁设置，且环形密封件位于投料缸体倾斜面与炉体外壁之间，所述绳轮设置于靠近缸体顶端的内壁上，且绳轮表面开设有凹槽，所述投料绳设置于绳轮的凹槽中。

优选的，所述投料装置一侧还开设置有排气阀，用于抽除投料装置内部的气体；所述投料装置一侧还设置有进气阀，用于向投料装置内部冲入氩气；所述投料装置内部的底端还设置有密封盖，用于对投料装置底端倾斜面中心处的通孔进行密封，所述密封盖的一侧还设置有电机，用于驱动密封盖进行转动。

优选的，所述空心螺纹管长度不大于炉体、环形密封件的厚度之和，所述环形密封件内壁上设置有与空心螺纹管相匹配的螺纹，且环形密封件靠近倾斜面一端的内径大，用于与空心螺纹管外壁相设置，且环形密封件远离倾斜面一端的内径小，用于与炉体外壁上焊接的螺纹管相设置。

优选的，所述外管套一端内径小，另一端内径大，所述外管套内径小的一端与内管套相接触，所述外管套内径大的另一端也与内管套相接触，使外管套与内管套在接触区域形成空隙，所述过渡装置的上端设置于所述空隙中。