[发明专利]检查系统

说明书

本发明提供一种检查系统，降低因检查对象物表面的附着物引起的缺陷的误检测或看漏。检查系统(1)进行检查对象物(W)的图像检查，具有：拍摄装置(10)，其拍摄检查对象物(W)；鼓风装置(20)，其具有向检查对象物(W)喷射洁净气体的喷嘴(22)；机器人(30)，其手臂末端部(32)安装有拍摄装置(10)和喷嘴(23)与检查对象物(W)中的某一个；检查装置(50)，其根据由拍摄装置(10)拍摄到的图像，进行检查对象物(W)的图像检查，检查装置(50)根据拍摄装置(10)与喷嘴(22)的位置关系来生成机器人的动作程序，使得喷嘴(22)在拍摄装置(10)之前相对于检查对象物(W)进行相对移动。

技术领域

本发明涉及一种检查系统，其根据由拍摄装置拍摄到的检查对象物的图像来进行检查对象物的检查。

背景技术

在专利文献1中，记载了如下检查系统：根据由拍摄装置拍摄到的检查对象物的图像，进行例如检查对象物表面的缺陷(例如瑕疵)的检查。在该检查系统中，将拍摄装置安装于机器人的手臂末端，通过控制机器人来控制拍摄装置相对于检查对象物的位置。

在像这样使用了拍摄装置拍摄到的图像的检查系统中，若在检查对象物的检查面上附着有空气中的灰尘或尘埃等，则可能将这些附着物误检测为缺陷(瑕疵)。

或者，若在检查对象物的检查面上附着有之前工序使用的切削液或清洗液等，则可能因切削液或清洗液的光反射率相对于检查对象物表面的光反射率的差异而使得图像发生变化，将这些附着物误检测为缺陷(瑕疵)，或者，因这些附着物而看漏原本应该检测出的缺陷(瑕疵)。

关于这一点，在专利文献2中记载有如下内容：在根据拍摄装置拍摄到的检查对象物的图像来进行检查对象物的表面是否有缺陷(例如瑕疵)的检查的检查系统中，相对于拍摄装置的行进方向在拍摄装置的前段，具有喷射空气的空气喷嘴。由此，除去附着于检测对象物表面的异物。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2005-121599号公报

专利文献2：日本特开2004-108956号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种检查系统，能够降低因检查对象物表面的附着物引起的缺陷的误检测或看漏。

(1)本发明涉及的检查系统(例如，后述的检查系统1)，其进行检查对象物(例如，后述的工件W)的图像检查，其特征在于，该检查系统具有：拍摄装置(例如，后述的照相机10)，其拍摄所述检查对象物；鼓风装置(例如，后述的鼓风装置20)，其具有向所述检查对象物喷射洁净气体的喷嘴(例如，后述的喷嘴22)；机器人(例如，后述的机器人30)，其在手臂末端部(例如，后述的手臂末端部32)安装有所述拍摄装置和所述喷嘴与所述检查对象物中的某一个；以及检查装置(例如，后述的检查装置50)，其根据由所述拍摄装置拍摄到的图像，进行所述检查对象物的图像检查，所述检查装置根据所述拍摄装置与所述喷嘴的位置关系来生成所述机器人的动作程序，使得所述喷嘴在所述拍摄装置之前相对于所述检查对象物进行相对移动。

(2)在(1)所记载的检查系统中，可以是，在所述机器人的手臂末端部安装有所述拍摄装置和所述喷嘴，所述检查装置生成所述机器人的动作程序，使得从所述拍摄装置朝向所述喷嘴的方向为所述检查对象物的图像检查的检查路径的检查方向。

(3)在(2)所记载的检查系统中，可以是，所述检查装置将从所述拍摄装置朝向所述喷嘴的方向设定为所述机器人的手臂末端部的行进方向，所述检查装置生成所述机器人的动作程序，使得所述机器人的手臂末端部的行进方向为所述检查对象物的图像检查的检查路径的检查方向。

(4)在(1)～(3)中任一项所记载的检查系统中，可以是，所述检查装置根据检查员进行的所述机器人的动作示教，生成所述机器人的动作程序。