[发明专利]一种大面积石墨烯的制备方法有效
申请号: | 201811245851.7 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN109052377B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 逄金波;程绮琳;孙春辉;张丛丛;王金刚;刘宏 | 申请(专利权)人: | 济南大学 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人: | 薛鹏喜 |
地址: | 250022 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大面积 石墨 制备 方法 | ||
1.一种大面积石墨烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)利用真空蒸镀、射频溅射或者电子束沉积在2-6英寸衬底上沉积20-100纳米厚的金属铜或者镍薄膜;
(2)将壳聚糖或者葡萄糖溶解在水中,搅拌2~12h,形成浓度为0.05g/ml~2g/mL的壳聚糖或者葡萄糖溶液;
(3)将步骤(2)的壳聚糖或葡萄糖溶液在匀胶机上在500-3000转/分钟条件下旋涂,经60-100℃干燥,在金属薄膜表面形成20-100纳米厚的壳聚糖或者葡萄糖薄膜;
(4)将上述薄膜置于热处理炉中,在真空、氮气氛或者氢气氛下,在微波辅助条件下进行快速加热,得到石墨烯薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述衬底为硅单晶、蓝宝石单晶或者石英玻璃晶圆或圆片。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法中还包括:将石墨烯薄膜转移至任意衬底的步骤。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,石墨烯薄膜转移采用的方法为聚合物支撑法;所采用的聚合物材料为PMMA。
5.权利要求1-4任一项所述的方法制备的石墨烯薄膜。
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