[发明专利]一种大面积石墨烯的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811245851.7 申请日: 2018-10-25
公开(公告)号: CN109052377B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 逄金波;程绮琳;孙春辉;张丛丛;王金刚;刘宏 申请(专利权)人: 济南大学
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184
代理公司: 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 代理人: 薛鹏喜
地址: 250022 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 大面积 石墨 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种大面积石墨烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)利用真空蒸镀、射频溅射或者电子束沉积在2-6英寸衬底上沉积20-100纳米厚的金属铜或者镍薄膜;

(2)将壳聚糖或者葡萄糖溶解在水中,搅拌2~12h,形成浓度为0.05g/ml~2g/mL的壳聚糖或者葡萄糖溶液;

(3)将步骤(2)的壳聚糖或葡萄糖溶液在匀胶机上在500-3000转/分钟条件下旋涂,经60-100℃干燥,在金属薄膜表面形成20-100纳米厚的壳聚糖或者葡萄糖薄膜;

(4)将上述薄膜置于热处理炉中,在真空、氮气氛或者氢气氛下,在微波辅助条件下进行快速加热,得到石墨烯薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述衬底为硅单晶、蓝宝石单晶或者石英玻璃晶圆或圆片。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法中还包括:将石墨烯薄膜转移至任意衬底的步骤。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,石墨烯薄膜转移采用的方法为聚合物支撑法;所采用的聚合物材料为PMMA。

5.权利要求1-4任一项所述的方法制备的石墨烯薄膜。

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