[发明专利]被加工物的加工方法

权利要求书

1.一种被加工物的加工方法，该被加工物具有由沿第1方向延伸的第1间隔道和沿与该第1方向交叉的第2方向延伸的第2间隔道构成的多条间隔道，

该被加工物的加工方法的特征在于，具有如下的步骤：

第1激光加工槽形成步骤，沿着该第1间隔道照射对于被加工物具有吸收性的波长的激光束而形成第1激光加工槽；

第2激光加工槽形成步骤，在实施了该第1激光加工槽形成步骤之后，沿着该第2间隔道照射该激光束而形成第2激光加工槽；以及

清洁步骤，在实施了该第2激光加工槽形成步骤之后，仅沿着该第1间隔道照射该激光束而仅去除位于所述第1激光加工槽与所述第2激光加工槽的交叉部处的如下的加工屑：该加工屑在该第1激光加工槽形成步骤中从被加工物的正面呈凸状地产生于该第1激光加工槽的槽缘，并且由于实施该第2激光加工槽形成步骤而在该第1间隔道与该第2间隔道的交叉部处沿该第2方向延伸从而位于所述第1激光加工槽与所述第2激光加工槽的交叉部处，

由此，在所述清洁步骤之后，在所述第1激光加工槽与所述第2激光加工槽的交叉部处不存在加工屑。

2.根据权利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于，

该被加工物的加工方法具有如下的保护膜包覆步骤：在实施该第1激光加工槽形成步骤之前，对被加工物包覆等离子蚀刻用保护膜，

通过实施该第1激光加工槽形成步骤、该第2激光加工槽形成步骤以及该清洁步骤而使该第1间隔道和该第2间隔道露出，

该被加工物的加工方法具有如下的等离子蚀刻步骤：在实施了该清洁步骤之后，隔着该等离子蚀刻用保护膜对被加工物实施等离子蚀刻。

3.根据权利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于，

在该清洁步骤中，与第1激光加工槽形成步骤和该第2激光加工槽形成步骤相比，加工进给速度较快。