[发明专利]一种超纯水制备方法

权利要求书

1.一种超纯水制备方法，其特征在于，包括：

向原水池内的自来水通入非氧化性杀菌剂，形成除菌水；

对所述除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内；

对所述纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水；

对所述除盐水进行处理，得到超纯水。

2.根据权利要求1所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述向原水池内的自来水通入非氧化性杀菌剂，形成除菌水的步骤中，将所述自来水送入多介质滤器，并向所述多介质滤器中通入所述非氧化性杀菌剂。

3.根据权利要求1所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内的步骤包括：

对所述除菌水进行过滤，得到过滤水；

将所述过滤水进行两级反渗透，得到所述纯净水；

将所述纯净水储存于所述水箱内。

4.根据权利要求3所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述除菌水进行过滤，得到过滤水的步骤中，对所述除菌水依次进行活性炭过滤和5纳米精密过滤。

5.根据权利要求1所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内的步骤后，所述超纯水制备方法还包括利用抽水泵将所述水箱内的部分纯净水抽取到外界。

6.根据权利要求1所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水的步骤中，利用紫外线杀菌器对所述纯净水进行紫外线杀菌，利用1纳米精密过滤器对所述纯净水进行过滤。

7.根据权利要求1所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水的步骤后，所述超纯水制备方法还包括将部分除盐水回流至所述水箱内。

8.根据权利要求1所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述除盐水进行处理，得到超纯水的步骤包括：

对所述除盐水再次进行紫外线杀菌，得到一级纯水；

利用两级抛光混床对所述一级纯水进行处理，得到二级纯水；

对所述二级纯水进行过滤，得到超纯水。

9.根据权利要求8所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述除盐水再次进行紫外线杀菌，得到一级纯水的步骤前，所述所述对所述除盐水进行处理，得到超纯水的步骤还包括利用氮封水箱和纯水输送泵对所述除盐水进行储存和输送。

10.根据权利要求8所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述对所述二级纯水进行过滤，得到超纯水的步骤中，对所述二级纯水依次进行0.2纳米精密过滤和0.04纳米精密过滤。