[发明专利]一种超纯水制备方法

说明书

本发明公开了一种超纯水制备方法，涉及超纯水制备技术领域。首先向原水池内的自来水通入非氧化性杀菌剂，形成除菌水，随后对除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内，接着对纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水，最后对除盐水进行处理，得到超纯水。与现有技术相比，本发明提供的超纯水制备方法由于采用了对纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水的步骤，所以能够减少非氧化性杀菌剂的使用量，并且提高进入电除盐系统的纯净水的水质，延长电除盐系统的使用寿命，降低运营成本。

技术领域

本发明涉及超纯水制备技术领域，具体而言，涉及一种超纯水制备方法。

背景技术

目前，在玻璃基板的生产制造中，研磨工序中需要使用纯净水，清洗工序中需要使用超纯水。超纯水又称UP水，是指电阻率在25℃时达到18MΩ·cm的水，这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水，超纯水可以用于制备各种超纯材料。

现在制备超纯水的生产工艺是在砂滤器进水时开始杀菌，运行过程中发现纯净水系统及后端细菌较多，需要使用的非氧化性杀菌剂的用量增大，而非氧化性杀菌剂价格昂贵，造成成本上升；而且目前的工艺是纯净水直接进入电除盐系统，这样一来，会导致电除盐系统产水水质下降较快，降低其使用寿命，造成运营成本增高。

有鉴于此，设计出一种降低成本的超纯水制备方法特别是在工业生产中显得尤为重要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超纯水制备方法，能够减少非氧化性杀菌剂的使用量，并且提高进入电除盐系统的纯净水的水质，延长电除盐系统的使用寿命，降低运营成本。

本发明是采用以下的技术方案来实现的。

一种超纯水制备方法，包括：向原水池内的自来水通入非氧化性杀菌剂，形成除菌水；对除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内；对纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水；对除盐水进行处理，得到超纯水。

进一步地，向原水池内的自来水通入非氧化性杀菌剂，形成除菌水的步骤中，将自来水送入多介质滤器，并向多介质滤器中通入非氧化性杀菌剂。

进一步地，对除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内的步骤包括：对除菌水进行过滤，得到过滤水；将过滤水进行两级反渗透，得到纯净水；将纯净水储存于水箱内。

进一步地，对除菌水进行过滤，得到过滤水的步骤中，对除菌水依次进行活性炭过滤和5纳米精密过滤。

进一步地，对除菌水进行处理，得到纯净水并储存于水箱内的步骤后，超纯水制备方法还包括利用抽水泵将水箱内的部分纯净水抽取到外界。

进一步地，对纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水的步骤中，利用紫外线杀菌器对纯净水进行紫外线杀菌，利用1纳米精密过滤器对纯净水进行过滤。

进一步地，对纯净水进行紫外线杀菌和过滤，并送入电除盐装置，形成除盐水的步骤后，超纯水制备方法还包括将部分除盐水回流至水箱内。

进一步地，对除盐水进行处理，得到超纯水的步骤包括：对除盐水再次进行紫外线杀菌，得到一级纯水；利用两级抛光混床对一级纯水进行处理，得到二级纯水；对二级纯水进行过滤，得到超纯水。

进一步地，对除盐水再次进行紫外线杀菌，得到一级纯水的步骤前，对除盐水进行处理，得到超纯水的步骤还包括利用氮封水箱和纯水输送泵对除盐水进行储存和输送。

进一步地，对二级纯水进行过滤，得到超纯水的步骤中，对二级纯水依次进行0.2纳米精密过滤和0.04纳米精密过滤。

本发明提供的超纯水制备方法具有以下有益效果：