[发明专利]一种非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法

权利要求书

1.一种非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，包括：

将非导体陶瓷材料的待检样品置于扫描电镜的样品台上，并设置X射线能谱分析的最佳工作距离；

所述扫描电镜入射加速电压在最低值至5KV的范围内以规定间隔连续变化，并分别在不同的所述入射加速电压下采集X射线能谱信号；

将采集的所述X射线能谱信号的全部计数点存储为TXT格式并导入Matlab程序中，依据X射线能量上限Duane-Hunt原理，采用线性拟合计算各所述X射线能谱信号所对应的能谱谱线的上限电压，即对能谱谱线尾端的计数点进行线性拟合；

将计算得到的所述上限电压导入至Matlab程序中进行分段线性拟合，并计算出分段拟合曲线与理论直线的两个交点值，所述两个交点值为所述待检样品的无荷电平衡电压。

2.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

所述待检样品是将非导体陶瓷材料抛光后的表面或截面。

3.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

所述扫描电镜的放大倍数小于1000×。

4.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

所述入射加速电压的最低值为350V，所述规定间隔为100V以下。

5.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

调节并固定入射电子束的电流值为0.2nA，采集所述X射线能谱信号的全部计数高于500e-，采集时间不超过500s。

6.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

操作时，选取所述能谱谱线的尾端的所述上限电压的100以上的计数点导入Matlab程序中进行线性拟合。

7.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

所述计数点呈明显线性收敛，且拟合后的拟合相关系数大于0.95；若所述拟合相关系数为0.95以下时，增加入射电子束的电流或延长采集时间。

8.根据权利要求1所述的非导体陶瓷材料无荷电平衡电压的计算方法，其特征在于，

对所述上限电压以1KV为分割点进行所述分段线性拟合，选择所述分割点时，应保证两段线性拟合相关系数均大于0.95。