[发明专利]一种在玻璃上制作复合腐蚀保护层的装置和方法

说明书

本发明公开了一种在玻璃上制作复合腐蚀保护层的装置，所述装置包括预定位单元、机械手单元和复合腐蚀保护层制作单元；所述预定位单元包括玻璃预定位台(1)、橡胶保护层预定位台(2)、金属保护层预定位台(3)；所述机械手单元包括机械手控制台(13)、真空吸盘(10)，所述机械手控制台(13)控制真空吸盘(10)在X\Y\θ方向上的移动；所述复合腐蚀保护层制作单元包括真空承片台(5)、控制台(7)，真空承片台(5)上有真空吸附孔(6)。此外，本发明还提供了一种在玻璃上制作复合腐蚀保护层的方法。本发明可自动化制作腐蚀保护层，结构简单，方便操作，定位准确。

技术领域

本发明涉及玻璃加工技术领域，尤其涉及一种玻璃上制作复合腐蚀保护层的装置和方法。

背景技术

化学腐蚀加工时利用物质间的化学反应来实现结构加工的作用，通过对二氧化硅材料进行局部定向化学腐蚀，可在玻璃表面加工装饰图案或盲槽等各类图形，应用于精密光学器件、IC芯片制造，仪器仪表等。

在现有技术中，为了通过化学腐蚀的方法得到具有特定结构的玻璃，需要人工预先在待腐蚀的玻璃表面制作腐蚀保护层，然后将制作有保护层的玻璃装入工装夹具中放在腐蚀液内进行腐蚀。伴随着半导体技术的快速发展，对玻璃上腐蚀加工图形深度的要求越来越多，而能够耐玻璃腐蚀液腐蚀的保护层种类较少，通常采用复合保护层的方式，如橡胶层和金属层相结合的方式，另外，目前对玻璃双面图形的加工精度及对称性要求越来越高，对玻璃的加工质量及产量也大幅提高，而人工制作复合腐蚀保护层，存在费时、费力、定位精度低等问题，在很大程度上限制了玻璃的批量化腐蚀加工。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了一种玻璃上自动化制作复合腐蚀保护层的装置，所述装置结构简单，方便操作，定位准确，能实现在玻璃上自动化制作复合腐蚀保护层，可有效解决现有人工操作效率低，定位精确度低等问题。此外，本发明还提供了一种在玻璃上制作复合腐蚀保护层的方法。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种玻璃上制作复合腐蚀保护层的装置，采取技术方案如下：

所述装置包括预定位单元、机械手单元和复合腐蚀保护层制作单元；

所述预定位单元包括玻璃预定位台、橡胶保护层预定位台、金属保护层预定位台；

所述机械手单元包括真空吸盘、水平方向伸缩杆、圆周方向旋转轴、机械手竖直方向伸缩杆及机械手控制台，上述部件依次固定连接；所述机械手控制台可通过控制竖直方向伸缩杆、圆周方向旋转轴、水平方向伸缩杆来控制真空吸盘在X\Y\θ方向上的移动；机械手控制台控制真空吸盘上的真空开启和关闭；所述复合腐蚀保护层制作单元包括真空承片台、控制台，真空承片台上有真空吸附孔，真空承片台通过竖直方向伸缩杆固定在控制台上，控制台用于控制竖直方向伸缩杆伸缩以及真空承片台的真空开启和关闭。

进一步，所述玻璃预定位台、橡胶保护层预定位台、金属保护层预定位台均包含预定位槽，预定位槽形状根据玻璃形状、橡胶保护层及金属保护层形状定制设计。

进一步，所述真空吸盘上有氮气吹气孔，机械手控制台控制氮气开启和关闭。

进一步，所述复合腐蚀保护层制作单元还包括夹持夹，夹持夹为两个，分别通过固定支架固定在控制台上，位于真空承片台两侧，夹持夹可水平方向伸缩运动和作圆周方向上旋转，控制台用于控制夹持夹水平方向伸缩运动和进行夹持操作。

一种基于上述在玻璃上制作复合腐蚀保护层的装置，在玻璃上制作复合腐蚀保护层的方法，包括：

步骤1.将待加工玻璃放置在玻璃预定位台上，将橡胶保护层预定位台上，将金属保护层放置在金属保护层预定位台上，橡胶保护层与金属保护层的放置位置及方向保持一致，保护层上镂空图形根据玻璃待加工图形设计；

步骤2.机械手控制台控制真空吸盘将玻璃吸附在真空吸盘上；