[发明专利]载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备

说明书

本发明公开了一种载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备，载具定位组件包括定位件和解锁件；定位件包括固定段和卡爪段，固定段被设置为用于固定定位件，卡爪段包括一对弹性卡爪，弹性卡爪上设有扩张部和弹性部；扩张部被设置为用于与载具上的定位孔滑动配合，扩张部位于定位件面对载具的一侧；解锁件上设有与一对弹性卡爪的扩张部滑动配合的解锁孔。本发明的载具定位组件通过定位件的卡爪段和载具上的定位孔的配合，可将载具牢固可靠地定位在定位件上，并通过解锁件可将定位件上的载具方便地拆卸下来。

技术领域

本发明涉及载具运输领域，更具体地，涉及一种载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备。

背景技术

载具可用于承载待加工的零部件或加工完成的零部件。例如，在半导体器件的制备过程中，常常需要通过载具承载未进行工艺的硅片或工艺完成的硅片，并由载具运输设备来将载具运输至相应的工位。上述载具可例如为硅片承载花篮等。

现有的载具运输设备主要包括导轨式机械手和AGV(Automated Guided Vehicle，自动导引运输车)，导轨式机械手或AGV可将载具在不同的工位之间来回运输。现有的载具运输设备通过夹爪夹持载具或通过平台放置载具的方式将载具定位在载具运输设备上，但是这些载具定位方式容易产生载具定位不牢固的问题，会导致载具在运输过程中的掉落或遗失。

因此，如何提供一种可牢固可靠的定位载具的载具定位组件成为本领域亟需解决的技术难题。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种可牢固可靠的定位载具的载具定位组件的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种载具定位组件。

该载具定位组件包括定位件和解锁件；其中，

所述定位件包括固定段和卡爪段，所述固定段被设置为用于固定所述定位件，所述卡爪段包括一对弹性卡爪，所述弹性卡爪上设有扩张部和弹性部；

所述扩张部被设置为用于与载具上的定位孔滑动配合，所述扩张部位于所述定位件面对载具的一侧，所述弹性部被设置为在外力的作用下发生弹性形变，以使得一对所述弹性卡爪的所述扩张部相向或相背运动；

所述解锁件上设有与一对所述弹性卡爪上的所述扩张部滑动配合的解锁孔。

可选的，所述弹性卡爪上还设有定位槽；

所述定位槽位于所述扩张部和所述弹性部之间，所述定位槽被设置为用于与载具上的定位孔的内沿卡合。

可选的，所述载具定位组件还包括限位套；

所述限位套环绕在所述定位件外，且所述限位套的自由端与所述扩张部和所述弹性部的连接处相对齐，以限制载具在所述弹性卡爪上的移动行程。

可选的，所述载具定位组件还包括解锁件驱动单元；

所述解锁件驱动单元被设置为用于驱动所述解锁件朝向靠近或远离所述定位件的方向移动。

可选的，所述载具定位组件还包括弹性件；

所述弹性卡爪上设有弹性件安装部，所述弹性卡爪上设有弹性件安装部，所述弹性件安装部与所述扩张部和所述弹性部的连接处相对应，所述弹性件通过所述弹性件安装部安装在一对所述弹性卡爪之间。

根据本发明的第二方面，提供了一种移载装置。

该移载装置包括升降机构、平移机构和本发明的载具定位组件；其中，

所述定位件安装在所述升降机构上，所述升降机构安装在所述平移机构上，所述升降机构被设置为用于带动所述定位件朝向靠近或远离第一工位的方向移动，所述平移机构被设置为用于带动所述升降机构在第一工位和第二工位之间移动。