[发明专利]厚度测量方法及设备

权利要求书

1.一种厚度测量方法，其特征在于，包括：

获得时域光谱测量系统对处于预设介质中的待测对象进行厚度测量获得的厚度测量信号，以及所述时域光谱测量系统对所述预设介质进行厚度测量获得的参考信号，所述厚度测量信号为主脉冲信号和回波信号的叠加信号；

对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果；

根据所述厚度测量信号和所述参考信号各自的自相关结果，确定所述待测对象的厚度；

所述自相关处理的改进自相关公式如下：

其中ρ_k为改进自相关系数，n为时间序列长度，为期望，为以滞后时间序列值为起点时间序列期望。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果之前，所述方法还包括：

对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行归一化处理，获得各自的归一化结果；

所述对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果，包括：

对所述厚度测量信号的归一化结果和所述参考信号的归一化结果分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果之前，所述方法还包括：

通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述滤波器包括巴特沃斯滤波器。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理，包括：

通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理；

判断所述厚度测量信号的回波信号的峰值与所述厚度测量信号的杂波的平均值的比值是否大于或等于预设阈值；

若所述厚度测量信号的回波信号的峰值与所述厚度测量信号的杂波的平均值的比值小于预设阈值，则调整所述滤波器的滤波带宽参数，并返回所述通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理的步骤执行；

若所述厚度测量信号的回波信号的峰值与所述厚度测量信号的杂波的平均值的比值大于或者等于所述预设阈值，则根据所述滤波器的通带频率范围，确定所述待测对象的折射率；

所述根据所述厚度测量信号和所述参考信号各自的自相关结果，确定所述待测对象的厚度，包括：

根据所述厚度测量信号和所述参考信号各自的自相关结果以及所述待测对象的折射率，确定所述待测对象的厚度。

6.一种厚度测量设备，其特征在于，包括：

信号获取模块，用于获得时域光谱测量系统对处于预设介质中的待测对象进行厚度测量获得的厚度测量信号，以及所述时域光谱测量系统对所述预设介质进行厚度测量获得的参考信号，所述厚度测量信号为主脉冲信号和回波信号的叠加信号；

自相关模块，用于对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果；

厚度测量模块，用于根据所述厚度测量信号和所述参考信号各自的自相关结果，确定所述待测对象的厚度；

所述自相关处理的改进自相关公式如下：

其中ρ_k为改进自相关系数，n为时间序列长度，为期望，为以滞后时间序列值为起点时间序列期望。

7.根据权利要求6所述的厚度测量设备，其特征在于，还包括：归一化模块；

所述归一化模块，用于对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果之前，对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行归一化处理，获得各自的归一化结果；

所述自相关模块，具体用于对所述厚度测量信号的归一化结果和所述参考信号的归一化结果分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果。