[发明专利]厚度测量方法及设备

说明书

本发明实施例提供一种厚度测量方法及设备，该方法包括：通过对参考信号以及主脉冲信号和回波信号叠加获得的厚度测量信号进行自相关处理，获得各自的自相关结果，并根据所述厚度测量信号和所述参考信号各自的自相关结果，确定所述待测对象的厚度，可以准确的选取主脉冲信号的峰值点和回波信号的峰值点，避免了由于主脉冲信号的峰值点和回波信号的峰值点选取不准确，导致根据主脉冲信号的峰值点和回波信号的峰值点得到的待测对象的厚度不准确的问题，提高了所确定的待测对象厚度的准确度。

技术领域

本发明涉及一种厚度测量技术领域，尤其涉及一种厚度测量方法及设备。

背景技术

目前，基于主脉冲信号和回波信号的太赫兹厚度测量逐渐被应用在厚度测量中。其中，主脉冲信号是指直接透射经过待测对象后的太赫兹信号，回波信号是指透射经过待测对象后在待测对象的一侧表面进行第一次反射，再透射经过待测对象，在待测对象另一侧表面进行第二次反射后，透射出待测对象的太赫兹信号。

现有技术中，通过主脉冲信号、回波信号以及参考信号，确定待测对象的厚度。具体的，通过对主脉冲信号和回波信号的叠加信号和参考信号进行高斯反卷积运算，确定出主脉冲信号的峰值点和回波信号的峰值点的时间差，进一步的，根据主脉冲信号的峰值点和回波信号的峰值点的时间差，得到待测对象的厚度。

但是，现有技术，存在根据主脉冲信号和回波信号确定的厚度，准确度较低的问题。

发明内容

本发明实施例提供一种厚度测量方法及设备，解决了现有技术中存在根据主脉冲信号和回波信号确定的厚度，准确度较低的问题。

第一方面，本实施例提供的厚度测量方法，包括：

获得时域光谱测量系统对处于预设介质中的待测对象进行厚度测量获得的厚度测量信号，以及所述时域光谱测量系统对所述预设介质进行厚度测量获得的参考信号，所述厚度测量信号为主脉冲信号和回波信号的叠加信号；

对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果；

根据所述厚度测量信号和所述参考信号各自的自相关结果，确定所述待测对象的厚度。

在一种可能的设计中，所述对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果之前，所述方法还包括：

对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行归一化处理，获得各自的归一化结果；

所述对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果，包括：

对所述厚度测量信号的归一化结果和所述参考信号的归一化结果分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果。

在一种可能的设计中，所述对所述厚度测量信号和所述参考信号分别进行自相关处理，获得各自的自相关结果之前，所述方法还包括：

通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理。

在一种可能的设计中，所述滤波器包括巴特沃斯滤波器。

在一种可能的设计中，所述通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理，包括：

通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理；

判断所述厚度测量信号的回波信号的峰值与所述厚度测量信号的杂波的平均值的比值是否大于或等于预设阈值；

若所述厚度测量信号的回波信号的峰值与所述厚度测量信号的杂波的平均值的比值小于预设阈值，则调整所述滤波器的滤波带宽参数，并返回所述通过滤波器对所述厚度测量信号进行滤波处理的步骤执行；