[发明专利]环保型高效碱性蚀刻液在审
申请号: | 201811264427.7 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109136929A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 戴泽民;杨国雄;苑伟东 | 申请(专利权)人: | 深圳市中南环保科技控股有限公司 |
主分类号: | C23F1/34 | 分类号: | C23F1/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市罗湖区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 碱性蚀刻液 环保型 添加剂 氨水 催化反应效果 配制添加剂 无机化合物 有效保障 再生处理 氯化铵 侧蚀 废液 复配 加温 配重 溶铜 提铜 子液 沉淀 新鲜 保证 | ||
【权利要求书】:
1.环保型高效碱性蚀刻液,其特征在于:溶液配重比为:氨水400~600ml/L;氯化铵,240-260g/L;添加剂小于1‰;其余为水;其中,添加剂是乙二基硫脲和热水复配而成的混合物。
2.根据权利要求1所述其添加剂为乙二基硫脲和热水的混合物,溶液浓度小于1‰。
3.根据权利要求1所述环保型高效碱性蚀刻液,所述蚀刻液包括子液,子液主要技术指标特征:
4.根据权利要求1所述环保型高效碱性蚀刻液,所述蚀刻液还包括槽液,所述槽液作业条件特征:
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