[发明专利]电容式气压传感器在审
| 申请号： | 201811265396.7 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109238550A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 于文秀;闫文明 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敏感膜 电容式气压传感器 极板 微凹凸 永久性形变 碎裂 凹凸结构 产品载体 外部空气 稳定性能 相对设置 可缓冲 形变 | ||
1.一种电容式气压传感器，其特征在于，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。
2.如权利要求1所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述微凹凸面设置为凸峰与凹谷依次相接的凹凸形状。
3.如权利要求2所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述微凹凸面设置为断面呈锯齿形或波浪形的面。
4.如权利要求2所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述微凹凸面的凸峰与凹谷形状相同。
5.如权利要求1所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述微凹凸面设置为凸峰与平谷依次相接的凹凸形状，或者，所述微凹凸面设置为平峰与凹谷依次相接的凹凸形状。
6.如权利要求1所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述微凹凸面的凹凸纹理设置为长条状。
7.如权利要求1所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述微凹凸面的相邻凸峰或相邻凹谷的间隔为微米级或者纳米级。
8.如权利要求1至7中任意一项所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述敏感膜的内外表面均至少部分设置为微凹凸面，所述微凹凸面包括成形于所述敏感膜的外表面的第一微凹凸面、及成形于所述敏感膜的内表面的第二微凹凸面；
所述第一微凹凸面的凸起处与所述第二微凹凸面的凹陷处对应设置，且所述第一微凹凸面的凹陷处与所述第二微凹凸面的凸起处对应设置。
9.如权利要求1至7中任意一项所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述敏感膜的至少一表面整体设置为微凹凸面。
10.如权利要求1至7中任意一项所述的电容式气压传感器，其特征在于，所述电容式气压传感器设置为MEMS传感器。
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