[发明专利]电容式气压传感器

说明书

本发明公开一种电容式气压传感器，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。本发明电容式气压传感器，将敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面，微凹凸面的凹凸结构可缓冲敏感膜发生形变时产生的应力，使得敏感膜不易发生永久性形变或者碎裂，从而可保护敏感膜，进而可提高敏感膜和电容式气压传感器的耐破坏能力，增强敏感膜和电容式气压传感器的可靠、稳定性能。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种电容式气压传感器。

背景技术

电容式气压传感器一般包括作为敏感膜的第一极板、成形于衬底的第二极板，第一极板和第二极板间隔相对设置，第一极板和第二极板之间形成电容C。当气压载荷P发生变化时，第一极板会发生形变，从而导致第一极板与第二极板之间的间距d变化，进而会引起电容C的变化，故，根据电容C的变化，可测得气压的变化值ΔP。

对于传统电容式气压传感器，其至少存在以下缺点：

1)当处于潮湿环境中或温差变化较大时，第一极板表面容易堆积水分子，堆积的水分子的重量会影响传感器的灵敏度。

2)受限于第一极板的弹性性能，当第一极板受到猛烈撞击或瞬时超大气压等特殊使用情况时，第一极板随即发生形变产生应力、甚至破碎，从而会导致传感器灵敏度下降、甚至失效。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种电容式气压传感器，旨在解决现有技术中存在的技术问题之一。

为实现上述目的，本发明提出一种电容式气压传感器，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。

可选地，所述微凹凸面设置为凸峰与凹谷依次相接的凹凸形状。

可选地，所述微凹凸面设置为断面呈锯齿形或波浪形的面。

可选地，所述微凹凸面的凸峰与凹谷形状相同。

可选地，所述微凹凸面设置为凸峰与平谷依次相接的凹凸形状，或者，所述微凹凸面设置为平峰与凹谷依次相接的凹凸形状。

可选地，所述微凹凸面的凹凸纹理设置为长条状。

可选地，所述微凹凸面的相邻凸峰或相邻凹谷的间隔为微米级或者纳米级。

可选地，所述敏感膜的内外表面均至少部分设置为微凹凸面，所述微凹凸面包括成形于所述敏感膜的外表面的第一微凹凸面、及成形于所述敏感膜的内表面的第二微凹凸面；

所述第一微凹凸面的凸起处与所述第二微凹凸面的凹陷处对应设置，且所述第一微凹凸面的凹陷处与所述第二微凹凸面的凸起处对应设置。

可选地，所述敏感膜的至少一表面整体设置为微凹凸面。

可选地，所述电容式气压传感器设置为MEMS传感器。

本发明电容式气压传感器，将敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面，微凹凸面的凹凸结构可缓冲敏感膜发生形变时产生的应力，使得敏感膜不易发生永久性形变或者碎裂，从而可保护敏感膜，进而可提高敏感膜和电容式气压传感器的耐破坏能力，增强敏感膜和电容式气压传感器的可靠、稳定性能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。