[发明专利]芯片条显微镜检验夹具有效
申请号: | 201811266522.0 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109444165B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 彭海涛 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 高欣 |
地址: | 050051 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 显微镜 检验 夹具 | ||
1.芯片条显微镜检验夹具,其特征在于,包括:
夹具体,用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离,所述夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面;
夹紧体,设置于所述夹具体上,用于固定待检测的芯片条;
所述夹紧体远离所述夹具体的一侧设有金属丝弹簧,用于将芯片条夹持到所述夹紧体上;
所述夹具体为长条块,其横断面为矩形结构,所述夹具体沿其长度方向设有长条插槽,所述长条插槽的两个内壁均与所述夹具体相对的两个长条面平行,所述夹紧体的另一侧夹持在所述长条插槽内;
所述夹紧体的结构为长条薄片,其长度方向相对的两个侧面,用于插入所述长条插槽的侧面且沿该侧面长度方向设有长条卡槽,另一个侧面且沿该侧面长度方向设有多个用于定位芯片条的凸块;
所述夹紧体相对的两个表面,其中的一个表面设有多个与所述长条卡槽垂直且连通的斜槽,所述斜槽的数量与所述凸块的数量相同且一一对应,所述斜槽延伸并穿过所述凸块,所述凸块上与所述长条卡槽相对的一侧面设有与所述斜槽垂直且连通的凹槽;
所述金属丝弹簧为折弯件,包括沿所述长条卡槽设置的横直部、沿所述斜槽设置的竖直部和沿所述凹槽设置的卡紧弯曲部。
2.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具,其特征在于:所述夹具体其中的一个长条面设有穿过所述长条插槽的一个内壁用于抵顶所述夹紧体的锁紧螺钉,另一个所述长条面为支撑平面,用于与所述显微镜的检验台接触。
3.如权利要求2所述的芯片条显微镜检验夹具,其特征在于:所述长条插槽自所述夹具体长度方向的一端向所述夹具体另一端延伸,且其长度小于所述夹具体的长度。
4.如权利要求2所述的芯片条显微镜检验夹具,其特征在于:所述长条插槽的长度与所述夹具体的长度相同。
5.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具,其特征在于:所述凸块的两个表面分别与所述夹紧体相对的两个表面平齐。
6.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具,其特征在于:所述夹紧体的厚度为2-3mm。
7.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具,其特征在于:所述夹具体和所述夹紧体均为金属制件。
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