[发明专利]芯片条显微镜检验夹具

说明书

本发明提供了一种芯片条显微镜检验夹具，芯片检验技术领域，包括夹具体和夹紧体，夹具体用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面；夹紧体设置于夹具体上，用于固定待检测的芯片条。本发明提供的芯片条显微镜检验夹具，使用时，将芯片条固定到夹紧体上，芯片条的腔面朝上，与显微镜头相对，夹紧体连接到夹具体上，避免芯片条的腔面与其他物体接触，防止对芯片条的腔面造成损伤和沾污，进而更好的对芯片条进行显微镜检验，避免后续工艺的浪费。

技术领域

本发明属于芯片检验技术领域，更具体地说，是涉及一种半导体激光器芯片腔面检验的芯片条显微镜检验夹具。

背景技术

随着半导体激光器芯片输出功率的不断提高，对其可靠性的要求也逐渐提高。激光器芯片腔面的形貌对可靠性提升起着至关重要的作用，腔面的形貌包括腔面解理纹理、机械损伤、异物污染或腔面膜不均匀形成的彩条。这些腔面形貌需要早期发现，待载体烧结完成后再进行腔面检验，不仅不能及时发现问题，还可能引发载体等物料和烧结工时的浪费，因此镀膜后进行裸芯片条的腔面检验尤为重要。腔面检验时芯片条需要竖立放置，必须避免在显微镜检验过程中前后端腔面接触任何物体进而引入沾污等情况，影响成品率以及后续烧结工艺，进而影响芯片条的可靠性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种芯片条显微镜检验夹具，以避免芯片检验过程中腔面造成污染的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种芯片条显微镜检验夹具，包括：

夹具体，用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，所述夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面；

夹紧体，设置于所述夹具体上，用于夹持待检测的芯片条。；

进一步地，所述夹具还包括金属丝弹簧，设于所述夹紧体远离所述夹具体的一侧，用于将芯片条夹持到所述夹紧体上。

进一步地，所述夹具体为长条块，其横断面为矩形结构，所述夹具体沿其长度方向设有长条插槽，所述长条插槽的两个内壁均与所述夹具体相对的两个长条面平行，所述夹紧体的另一侧夹持在所述长条插槽内。

进一步地，所述夹具体其中的一个长条面设有穿过所述长条插槽的一个内壁用于抵顶所述夹紧体的锁紧螺钉，另一个所述长条面为支撑平面，用于与所述显微镜的检验台接触。

进一步地，所述长条插槽自所述夹具体长度方向的一端向所述夹具体另一端延伸，且其长度小于所述夹具体的长度。

进一步地，所述长条插槽的长度与所述夹具体的长度相同。

进一步地，所述夹紧体的结构为长条薄片，其长度方向相对的两个侧面，用于插入所述长条插槽的侧面且沿该侧面长度方向设有设有长条卡槽，另一个侧面且沿该侧面长度方向设有设有多个用于定位芯片条的凸块；

所述夹紧体相对的两个表面，其中的一个表面设有多个与所述长条卡槽垂直且连通的斜槽，所述斜槽的数量与所述凸块的数量相同且一一对应，所述斜槽延伸并穿过所述凸块，所述凸块上与所述长条卡槽相对的一侧面设有与所述斜槽垂直且连通的凹槽；

所述金属丝弹簧为折弯件，包括沿所述长条卡槽设置的横直部、沿所述斜槽设置的竖直部和沿所述凹槽设置的卡紧弯曲部。

进一步地，所述凸块的两个表面分别与所述夹紧体相对的两个大面平齐。

进一步地，所述夹紧体的厚度为2-3mm。

进一步地，所述夹具体和所述夹紧体均为金属制件。