[发明专利]真空干燥装置和真空干燥条件的确定方法

说明书

本发明公开了一种真空干燥条件的确定方法和真空干燥装置。真空干燥装置包括：抽真空机构、加热机构、真空干燥腔、形貌检测组件和控制机构。采用该真空干燥装置对OLED器件需要干燥的功能膜层进行干燥，且在干燥过程中可以对功能膜层的形貌进行实时扫描检测，实现对功能膜层的形貌变化的实时监控；并可以通过对预设真空干燥条件下功能膜层形貌的实时平整度信号和基板形貌的初始平整度信号进行比较，得到适合所述功能膜层干燥的真空干燥条件。进一步地，在该真空干燥条件下对待干燥的功能膜层进行干燥，能够提高功能层成膜的均匀性，达到提高显示器件性能的效果。

技术领域

本发明涉及真空干燥技术领域，特别是涉及一种真空干燥装置和真空干燥条件的确定方法。

背景技术

喷墨印刷工艺，能够大幅地提高材料的利用率，降低生产成本，且能实现大尺寸面板的生产，因此被行业看好，是大尺寸OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)、QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes，量子点电致发光二极管)面板生产工艺的研究热点。

传统的OLED喷墨印刷制备过程，通常是在已进行ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)图案化的基板上，通过喷墨打印技术，在基板的像素坑中，形成各功能层，打印后的功能层需要进行真空干燥处理。在真空干燥过程中，需要根据打印的功能层，设置合适的真空干燥条件，如真空度、时间、温度等，以获得形貌良好的膜层，进而得到性能优良的印刷显示器或者面板。现行的工艺流程(方法)是在真空干燥设备对基板上打印的功能层进行处理后，再运用台阶仪、白光干涉仪等测试仪器，对基板上打印的功能层进行形貌扫描，获得了功能层的形貌数据后，反推之前设置的真空干燥条件是否合适。如此，使用台阶仪、白光干涉仪等仪器对基板进行形貌扫描，存在测试时间长，滞后的问题，无法实时监测真空干燥过程中基板上打印的功能层的形貌变化，因此，有待改进。

发明内容

基于此，有必要提供一种真空干燥装置，能够实时监测真空干燥过程中功能膜层的形貌变化。

一种真空干燥装置，包括：

真空干燥腔，所述真空干燥腔中设有工作台，所述工作台用于承载基板或设有待干燥的功能膜层的基板；

加热机构，用于使所述真空干燥腔达到预设温度并控制预设真空干燥时间；

抽真空机构，用于使所述真空干燥腔达到预设真空度；

形貌检测组件，包括光源、光接收机构和信号处理机构；所述光源和所述光接收机构设于所述真空干燥腔内，所述光源用于向所述工作台发射光；所述光接收机构用于接收经所述基板散射的光，并转换成基板的初始平整度光信号，还用于在预设真空干燥条件下接收经所述功能膜层散射的光，并转换成所述功能膜层的实时平整度光信号；所述信号处理机构与所述光接收机构连接，用于根据所述基板初始平整度光信号和所述功能膜层的实时平整度光信号，确定所述功能膜层的真空干燥条件；

其中，所述预设真空干燥条件包括所述预设温度、所述预设真空度和所述预设真空干燥时间。

上述真空干燥装置包括抽真空机构、加热机构、设有工作台的真空干燥腔、形貌检测组件和控制机构，其中形貌检测组件包括光源、光接收机构和信号处理机构，光源和光接收机构设于真空干燥腔内，通过控制机构控制抽真空机构、加热机构、信号处理机构的运行，采用该真空干燥装置对OLED/QLED器件需要干燥的功能膜层进行干燥，且在干燥过程中可以对功能膜层的形貌进行实时扫描检测，实现对功能膜层的形貌变化的实时监控；并可以通过对预设真空干燥条件下功能膜层形貌的实时平整度信号和基板形貌的初始平整度信号进行比较，得到适合所述功能膜层干燥的真空干燥条件。进一步地，在该真空干燥条件下对待干燥的功能膜层进行干燥，能够提高功能层成膜的均匀性，达到提高显示器件性能的效果。