[发明专利]用于检查显示单元的装置有效
申请号: | 201811268659.X | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109727883B | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 李允贞;鱼庆湖 | 申请(专利权)人: | 细美事有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H10K59/12;H01L23/544 |
代理公司: | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人: | 余文娟 |
地址: | 韩国忠清南道天*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检查 显示 单元 装置 | ||
1.一种用于检查显示单元的装置,所述装置包括:
基板台,其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方;
卡台,其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡;
卡盒,其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡;
卡转移单元,其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡,所述卡转移单元被安装在台驱动单元上并与所述基板台一起移动;以及
台驱动单元,其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台,
其中所述卡转移单元包括:
夹持器部分,其用于夹住所述探针卡;以及
第二垂直驱动部分,其被安装在所述台驱动单元上并在垂直方向上移动所述夹持器部分以将所述探针卡传输至所述卡台上,
其中所述夹持器部分包括:
转移板,其被连接至所述第二垂直驱动部分;
夹持器,其被安装至所述转移板以夹住所述探针卡;以及
夹持器驱动部分,其用于操作所述夹持器。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述台驱动单元包括:
垂直驱动部分,其用于在垂直方向上移动所述基板台;
第一水平驱动部分,其用于在第一水平方向上移动所述垂直驱动部分;以及
第二水平驱动部分,其用于在垂直于所述第一水平方向的第二水平方向上移动所述第一水平驱动部分,
其中所述卡转移单元被安装在所述第一水平驱动部分上且通过所述第二水平驱动部分在所述第二水平方向上移动。
3.根据权利要求2所述的装置,其中所述第一水平驱动部分包括可移动块,其被配置成可通过所述第二水平驱动部分在所述第二水平方向上移动,以及所述卡转移单元被安装在所述可移动块上。
4.根据权利要求1所述的装置,其中所述夹持器中的每一个包括:
旋转轴,其被可旋转地安装至所述转移板;以及
至少一个钩子,其沿径向被安装在所述旋转轴的下部上,
其中所述探针卡具有键孔,所述旋转轴的所述下部和所述夹持器的所述钩子被插入所述键孔中,以及
所述夹持器驱动部分将被插入所述键孔中的所述夹持器旋转预定角度以夹住所述探针卡。
5.根据权利要求4所述的装置,其中所述夹持器中的所述每一个包括凸轮从动件,其被安装在所述旋转轴的上部上以与所述旋转轴的中轴线间隔预定距离,以及
所述夹持器驱动部分包括:
凸轮板,其具有凸轮槽,所述夹持器的所述凸轮从动件被插入所述凸轮槽中;以及
凸轮操作部分,其用于在水平方向上移动所述凸轮板,以使得旋转所述夹持器。
6.根据权利要求1所述的装置,其中所述卡台具有用于对齐所述探针卡的位置的对齐销,且所述探针卡具有对齐孔,所述对齐销被插入所述对齐孔中。
7.根据权利要求1所述的装置,其还包括夹持单元,其被设置在所述卡台上以夹住所述探针卡。
8.根据权利要求7所述的装置,其中所述探针卡具有分别在侧表面部分处形成的下槽,和分别被形成为具有从所述下槽向上的预定倾斜度的上槽,以及
所述夹持单元包括:
夹具,其中的每一个具有固定销,其被配置成被分别插入至所述下槽中;以及
夹具操作部分,其用于分别在水平方向上移动所述夹具,以使得被插入所述下槽中的所述固定销分别沿所述上槽移动,从而将所述探针卡固定至所述卡台上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造