[发明专利]一种输送系统

权利要求书

1.一种输送系统，其特征在于：包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各所述输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，所述传动部件包括转动轴及回转密封套，所述转动轴穿过所述真空腔室侧壁进入所述真空腔室内部，所述支撑部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室内部的一端，所述支撑部件用于支撑所述被载物，所述驱动部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室外部的一端，所述驱动部件用于驱动所述转动轴转动输送所述被载物，所述回转密封套套在所述转动轴位于所述真空腔室外的部分，并且所述回转密封套位于所述真空腔室与所述驱动部件之间。

2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：所述回转密封套为磁流体管，所述磁流体管密封且与所述转动轴通过轴承连接。

3.根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于：所述转动轴位于所述真空腔室与所述磁流体管之间的部分套设波纹管，所述波纹管一端与所述真空腔室侧壁连接，另一端与所述磁流体管连接。

4.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：所述支撑部件包括滚轮，所述滚轮安装于所述转动轴的端部且与所述转动轴同轴设置，所述滚轮由耐高温耐腐蚀材料制成。

5.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：还包括冷却装置，所述冷却装置包括旋转接头和冷却源，所述旋转接头连接于所述转动轴位于所述真空腔室外的一端，并且所述旋转接头位于所述驱动部件外侧，所述转动轴的内部与所述旋转接头的内部形成冷却液回路，所述冷却液回路的进液口与出液口设置于所述旋转接头内部，所述进液口与所述冷却源连接。

6.根据权利要求5所述的输送系统，其特征在于：所述转动轴内设有第一冷却孔，所述旋转接头内具有第二冷却孔，所述第一冷却孔与第二冷却孔相连通，且所述第一冷却孔与所述第二冷却孔的内部由冷却液管贯穿，所述冷却液管内腔形成进液通道，所述冷却液管管壁与所述第一冷却孔孔壁之间及所述冷却液管与所述第二冷却孔孔壁之间形成出液通道，所述进液口与位于所述第二冷却孔内的所述冷却液管的管端连通，所述出液口与所述出液通道连通。

7.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：还包括检测装置，所述检测装置包括多组位置传感器，多组所述位置传感器沿所述被载物的输送方向依次设置于所述真空腔室的侧壁上，以检测所述被载物在所述输送装置上到达的位置。

8.根据权利要求7所述的输送系统，其特征在于：所述位置传感器在所述真空腔室沿所述被载物输送方向的进口和出口处各设置一组，所述位置传感器还设置在相邻的两个所述输送装置之间，每组所述位置传感器包括两个对射光电传感器，两个所述对射光电传感器分别位于所述真空腔室的两个侧壁上且相对设置。

9.根据权利要求7所述的输送系统，其特征在于：所述检测装置还包括测距传感器，所述测距传感器设置于所述真空腔室出口处，设置高度与所述被载物齐平。

10.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：所述驱动部件包括伺服电机、传动带和皮带轮，所述皮带轮与所述转动轴同轴设置于所述转动轴上，所述伺服电机的输出端通过所述传动带与一个所述皮带轮连接，相邻的两个所述皮带轮通过所述传动带连接。

11.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：所述输送装置在所述真空腔室的两侧对称设置。