[发明专利]一种蒸镀腔体

说明书

本发明提供一种蒸镀腔体设计，包括基板夹持装置、基板对位装置、磁铁、冷板、曝光掩膜、蒸镀坩埚加热装置、转动装置以及压力传感器；所述压力传感器均匀对称的排布在冷板的下表面，通过预设压力传感器的数值来控制基板的压合，通过各个压力传感器的差值来判断基板的压合状态；本发明保证了每片玻璃基板受到的压合量相同，且该压合量设计在合理范围内，既可以保证基板不发生偏移，又可以保证基板不会因压合量过大而产生破片，极大的提高了蒸镀制程的成功率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备的腔体。

背景技术

显示面板，如有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称：OLED)因其在固态照明和平板显示的方向拥有巨大的发展潜力而得到了学术界和产业界的极大关注。有机发光二极管(OLED)平板可以做的更轻更薄，因而柔性显示技术将是未来的发展趋势。

目前有机发光二极管(OLED)制程，多采用蒸镀设备执行。其制备方法为，将玻璃基板与曝光掩膜(Mask)紧贴，靠Mask与冷板的夹持力跟随Mask与冷板进行同步旋转镀膜。而目前Mask与冷板的间距是预先设定的一个固定值，其值为玻璃基板的厚度。但玻璃基板有一定的厚度偏差，例如：当前0.5mm的玻璃基板的偏差为±0.05mm。因此，当Mask与冷板间距设置为固定的玻璃基板厚度时，厚度较厚的基板将会受到较大的夹持力，若基板存在前制程造成的微型裂纹，则很容易导致压合破片；厚度较薄的基板，将会受到较小的夹持力，造成玻璃基板制程时出现偏移，对制程造成影响。

发明内容

本发明提供一种蒸镀腔体，能够改善现有技术的蒸镀设备中Mask与冷板之间的距离值为固定设置，因而容易导致压合破片或玻璃基板制程时出现偏移的缺陷。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

一种蒸镀腔体，包括:

蒸镀坩埚加热装置，设置于所述蒸镀腔体底部；

曝光掩膜，放置于所述蒸镀坩埚加热装置的上方；

基板夹持装置，对称设置于所述蒸镀腔体两侧，所述基板夹持装置用以夹持基板，并将所述基板放置在所述曝光掩膜上方；

冷板，位于所述基板的上方，所述冷板的下表面设置有压力传感器，所述压力传感器具有预设定的压力值，通过预设定得压力值来控制所述冷板与所述基板的压合量，保证每片基板所受到的压合量相同；

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，所述压力传感器均匀对称排布在所述冷板下表面。

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，当所述压力传感器，所感应到的压力值到达预设定的压力值时，所述冷板将停止压合。

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，当各个所述压力传感器所感应到的压力值的最大值与最小值的差值到达预设定的压力差值时，发出压力差值预警提醒。

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，所述基板送入所述蒸镀腔体后，所述基板夹持装置将所述基板承接夹持，所述曝光掩膜上移至距离所述基板5毫米位置，通过基板对位装置调节所述基板夹持装置移动，完成所述基板与所述曝光掩膜对位。

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，所述冷板通过伺服马达控制向下移动进行压合。

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，所述腔体内设置有磁铁，所述磁铁上表面设置有转动装置，所述磁铁将冷板吸附在其下表面，所述转动装置带动所述磁铁、所述冷板、所述基板、所述曝光掩膜一起转动。

根据本发明实施例所提供的蒸镀腔体，完成蒸镀制程后，所述冷板向上移动，所述曝光掩膜放置装置向下移动使所述基板与所述冷板分离，所述基板夹持装置将所述基板进行夹持承接。