[发明专利]多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法

说明书

本公开提供一种多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法，所述多层陶瓷电容器包括具有介电层和内电极的主体，所述主体具有设置在所述主体的表面上的外电极，其中，所述外电极包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述主体的所述表面上，与所述内电极接触，并且包括氮化钛(TiN)，所述第二电极层设置在所述第一电极层上。

本申请要求于2017年11月21日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0155624号韩国专利申请和于2018年3月15日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0030021号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被全部包含于此。

技术领域

本公开涉及一种多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法。

背景技术

随着多层陶瓷电容器(MLCC)已减小尺寸并且已增大电容，增大MLCC的有效体积比(对电容有贡献的体积与总体积的比)的重要性已经增加。

通常地，为了形成外电极，通常使用将暴露主体的内电极的表面浸入包含导电金属的膏体中的方法。

然而，这里，通过浸渍法形成的MLCC的外电极的厚度不均匀，并且在主体的拐角部，外电极形成为相对薄，而在主体的其他部分，外电极形成为相对厚。结果，难以确保高的有效体积比。另外，当在外电极上形成镀层以改善MLCC的连接性和可安装性时，镀液可能渗透到主体的内部中，从而降低MLCC的可靠性。

发明内容

本公开的一方面可提供一种多层陶瓷电容器(MLCC)，在多层陶瓷电容器的主体中形成薄的、致密的主电极层，从而即使在外电极较薄的情况下，也确保足够的耐湿可靠性，并且提高了有效体积比。

根据本公开的一方面，一种多层陶瓷电容器可包括具有介电层和内电极的主体，所述主体具有设置在所述主体的表面上的外电极，其中，所述外电极包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述主体的所述表面上，与所述内电极接触，并且包括氮化钛(TiN)，所述第二电极层设置在所述第一电极层上。

根据本公开的另一方面，一种制造多层陶瓷电容器的方法可包括：制备包括介电层和内电极的主体；使用原子层沉积(ALD)法在所述主体的整个表面上形成包括氮化钛(TiN)的第一电极层；在所述主体的形成所述第一电极层并且将要形成第一外电极和第二外电极的部分上形成第二电极层；以及蚀刻并且从所述主体去除所述第一电极层的其上没有形成有所述第二电极层的暴露部。

根据本公开的另一方面，一种多层陶瓷电容器可包括：主体，包括介电层和内电极；以及外电极，包括顺序地设置在所述主体上的第一电极层和第二电极层，所述第一电极层包括氮化钛并且共形地设置在所述主体的外表面上，使得所述第一电极层与所述内电极接触。

附图说明

通过以下结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其他方面、特征及其他优点将被更清楚地理解，在附图中：

图1是示意性示出根据本公开中的示例性实施例的多层陶瓷电容器(MLCC)的透视图；

图2是沿图1的线I-I’截取的截面图；

图3是图2的“A”部分的示意性放大截面图；

图4是图2的“B”部分的示意性放大截面图；

图5是根据本公开中的另一示例实施例的MLCC的“B”部分的示意性放大截面图；

图6是根据本公开中的另一示例实施例的MLCC的“B”部分的示意性放大截面图；以及

图7至图10是示意性示出根据本公开的另一方面的制造MLCC的方法的每个阶段的透视图。

具体实施方式