[发明专利]一种三轴机械手抓取装200片电池片的石英舟夹具在审
申请号: | 201811284293.5 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN111128786A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 卓祖亮;宋敏;鲁丹 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
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地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 机械手 抓取 200 电池 石英 夹具 | ||
1.一种三轴机械手抓取装200片电池片的石英舟夹具,其特征在于,包括以下步骤:
1)桁架机械手抓取石英舟,当传感器(1)检测是否有石英舟;
2)有石英舟,夹抓气缸(2)和夹抓气缸(3)缩回;
3)定位机构(4)和定位机构(5)定位石英舟;
4)定位完成后,桁架机构手向上提起石英舟,将石英舟放在缓存架上或AGV周转平台上。
2.根据权利要求1所述的三轴机械手抓取装200片电池片的石英舟夹具,其特征在于,驱动的形式为伺服电机;控制系统为PLC;传动形式为齿轮齿条形式。
3.根据权利要求1所述的三轴机械手抓取装200片电池片的石英舟夹具,其特征在于,输送速度为200mm/S,并也可根据需要改变速度;带自动润滑系统。
4.根据权利要求1所述的三轴机械手抓取装200片电池片的石英舟夹具,其特征在于,定位机构定位精度为±0.6mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造