[发明专利]磨削磨轮在审
申请号: | 201811285155.9 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN109746842A | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 立石俊幸 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B24D5/00 | 分类号: | B24D5/00;B24D5/10 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磨削 磨轮 磨具 环状基台 分段 安装面 晶片 工作台 环状基 磨削屑 地排 堆积 消耗 | ||
【权利要求书】:
1.一种磨削磨轮,其安装于主轴的前端,对保持工作台所保持的晶片进行磨削,其中,
该磨削磨轮具有:
环状基台,其具有安装于该主轴的前端的安装面;以及
多个分段磨具,它们在该环状基台的与该安装面相反的面上设置均等的间隙并呈环状固定,
该环状基台具有按照与相邻的该分段磨具彼此之间所形成的该间隙相同的宽度使该间隙向该环状基台侧延长而形成在该环状基台上的多个缝隙。
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