[发明专利]磁传感装置有效
申请号: | 201811286267.6 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN110296720B | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 渡部司也;平林启 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;陈明霞 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感 装置 | ||
1.一种磁传感装置,其特征在于,
具备:
至少一个第一种磁传感器,其包含至少一个磁检测元件,生成对应于外部磁场的检测值;和
软磁性构造体,其由软磁性材料构成,
所述软磁性构造体具有作为在使所述外部磁场发生了变化时的磁化的磁滞曲线的第一磁滞曲线表示剩余磁化的磁特性,
所述至少一个第一种磁传感器和所述软磁性构造体以在所述软磁性构造体存在所述剩余磁化的状态下对所述至少一个第一种磁传感器施加基于所述剩余磁化的磁场的方式构成,
所述至少一个第一种磁传感器在单独时具有在作为使所述外部磁场发生了变化时的所述检测值的磁滞曲线的第二磁滞曲线中,在所述外部磁场为零时的检测值和理想值之差成为零以外的第一值的特性,
组装于所述磁传感装置的状态下的所述至少一个第一种磁传感器具有在作为使所述外部磁场发生了变化时的所述检测值的磁滞曲线的第三磁滞曲线中,在所述外部磁场为零时的检测值和理想值之差成为第二值的特性,
所述第二值的绝对值比所述第一值的绝对值小。
2.根据权利要求1所述的磁传感装置,其特征在于,
所述至少一个第一种磁传感器生成与所述外部磁场的平行于第一方向的方向的分量对应的检测值,
所述至少一个第一种磁传感器和所述软磁性构造体以沿与所述第一方向交叉的方向并排的方式配置。
3.根据权利要求1所述的磁传感装置,其特征在于,
施加于所述至少一个第一种磁传感器的基于所述剩余磁化的磁场包含与所述剩余磁化的方向相反方向的分量。
4.根据权利要求1所述的磁传感装置,其特征在于,
所述至少一个磁检测元件包含至少一个磁性层。
5.根据权利要求1所述的磁传感装置,其特征在于,
所述至少一个第一种磁传感器是生成与所述外部磁场的平行于第一方向的方向的分量对应的检测值的第一磁传感器、和生成与所述外部磁场的平行于第二方向的方向的分量对应的检测值的第二磁传感器,
所述第一方向和第二方向相互正交,
所述磁传感装置还具备支承所述第一磁传感器及第二磁传感器和所述软磁性构造体的支承部,
所述支承部具有与所述第一方向和第二方向都平行的基准平面,
所述基准平面包含相互不同的第一区域、第二区域和第三区域,
所述第一区域是将所述第一磁传感器垂直投影到所述基准平面上而形成的区域,
所述第二区域是将所述第二磁传感器垂直投影到所述基准平面上而形成的区域,
所述第三区域是将所述软磁性构造体垂直投影到所述基准平面上而形成的区域,
在将位于所述基准平面内,并穿过所述第三区域的重心且相互正交的两条直线设为第一直线和第二直线时,所述第一区域的至少一部分位于与所述第一直线交叉的位置,所述第二区域的至少一部分位于与所述第二直线交叉的位置,
所述第一直线与所述第二方向平行。
6.根据权利要求5所述的磁传感装置,其特征在于,
所述第一区域的任何部分都不与所述第二直线交叉,所述第二区域的任何部分也都不与所述第一直线交叉。
7.根据权利要求5所述的磁传感装置,其特征在于,
还具备用于检测所述外部磁场的平行于第三方向的方向的分量的第二种磁传感器,
所述第三方向与所述第一方向及所述第二方向正交,
所述软磁性构造体包含磁场转换部,所述磁场转换部接收所述外部磁场的平行于第三方向的方向的分量,输出垂直于所述第三方向的方向的输出磁场分量,
所述输出磁场分量的强度与所述外部磁场的平行于第三方向的方向的分量的强度具有对应关系,
所述第二种磁传感器检测所述输出磁场分量的强度。
8.根据权利要求7所述的磁传感装置,其特征在于,
所述软磁性构造体还包含至少一个软磁性层。
9.根据权利要求7所述的磁传感装置,其特征在于,
所述支承部包含具有上表面的基板,
所述第一磁传感器及第二磁传感器、所述第二种磁传感器以及所述软磁性构造体配置于所述基板的上表面上或上方,
所述基准平面为所述基板的上表面。
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