[发明专利]磁传感装置

说明书

本发明提供一种磁传感装置，其具备第一磁传感器、第二磁传感器、软磁性构造体。第一磁传感器生成与外部磁场的平行于X方向的方向的分量对应的检测值。第二磁传感器生成与外部磁场的平行于Y方向的方向的分量对应的检测值。在软磁性构造体上存在X方向的剩余磁化的状态下，对第一磁传感器施加基于软磁性构造体的剩余磁化的磁场即包含‑X方向的分量的磁场。在软磁性构造体上存在Y方向的剩余磁化的状态下，对第二磁传感器施加基于软磁性构造体的剩余磁化的磁场即包含‑Y方向的分量的磁场。

技术领域

本发明涉及包含磁传感器和软磁性构造体的磁传感装置。

背景技术

近年来，在种种用途中都在利用磁传感器。作为磁传感器，已知有使用了设置于基板上的多个磁检测元件的磁传感器。作为磁检测元件，例如可使用磁阻效应元件。

国际公开第2011/068146号记载了在支承体上设有X轴磁传感器、Y轴磁传感器及Z轴磁传感器的地磁传感器。在该地磁传感器中，Z轴磁传感器具备磁阻效应元件和软磁性体。软磁性体将平行于Z轴的方向的垂直磁场分量转换为垂直于Z轴的方向的水平磁场分量，并将该水平磁场分量赋予磁阻效应元件。

然而，一直以来，在使用如磁阻效应元件那样包含磁性层的磁检测元件的磁传感器中，检测值会因磁性层的磁滞特性而具有磁滞特性，其结果，存在检测精度降低等的问题点。下面，对该问题点进行详细说明。在磁检测元件所含的磁性层具有磁滞特性的情况下，在通过外部磁场而磁性层暂时具有磁化以后，即使外部磁场变成零，也会在磁性层上残余某种大小的磁化。其结果，通过该残余的磁化，导致外部磁场为零时的磁传感器的检测值与理想值不同。另外，在外部磁场变成了零时，磁性层上残余的磁化的方向或大小会因外部磁场变成零之前的外部磁场的方向或大小而不同。因此，导致外部磁场变成了零时的磁传感器的检测值因外部磁场变成零之前的外部磁场的方向及大小而不同。这样，检测值就会具有磁滞特性。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种磁传感装置，其能够抑制由检测值的磁滞特性引起的检测精度的降低。

本发明的磁传感装置具备：至少一个第一种磁传感器、和由软磁性材料构成的软磁性构造体。至少一个第一种磁传感器包含至少一个磁检测元件，并生成对应于外部磁场的检测值。

软磁性构造体具有在使外部磁场发生了变化时的磁化的磁滞曲线表示剩余磁化的磁特性。至少一个第一种磁传感器和软磁性构造体以在软磁性构造体存在剩余磁化的状态下对至少一个第一种磁传感器施加基于剩余磁化的磁场的方式构成。

至少一个第一种磁传感器在单独时，具有在使外部磁场发生了变化时的检测值的磁滞曲线中，在外部磁场为零时的检测值和理想值之差成为零以外的第一值的特性。组装于磁传感装置的状态下的至少一个第一种磁传感器具有在使外部磁场发生了变化时的检测值的磁滞曲线中，在外部磁场为零时的检测值和理想值之差成为第二值的特性。第二值的绝对值比第一值的绝对值小。

在本发明的磁传感装置中，至少一个第一种磁传感器也可以生成与外部磁场的平行于第一方向的方向的分量对应的检测值。在这种情况下，至少一个第一种磁传感器和软磁性构造体也可以沿与第一方向交叉的方向并排配置。

另外，在本发明的磁传感装置中，施加于至少一个第一种磁传感器的基于剩余磁化的磁场也可以包含与剩余磁化的方向相反的方向的分量。

另外，在本发明的磁传感装置中，至少一个磁检测元件也可以包含至少一个磁性层。