[发明专利]曝边机及曝光方法

说明书

本申请公开了一种曝边机及曝光方法，包括：支撑面，以及在所述支撑面两侧相对设置的第一侧壁以及第二侧壁，在所述第一侧壁的第一表面以及第二侧壁的第二表面上设置有多个照射源，所述多个照射源用于在曝光基板时对所述支撑面进行照射，以消除所述基板与所述支撑面接触而产生的静电。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种曝边机及曝光方法。

背景技术

近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，制备过程中在使用到精密光学仪器曝光机的基础上，还需要使用到曝边机，对基板长短边进行洗边，取出金属等边缘导电物质。

现有技术中，传统的曝边机易出现静电放电(electro static discharge，ESD)炸伤，导致产品在固定点位出现群亮暗点，目前为了解决机台内ESD炸伤，在曝边机出口连接去离子棒，但是效果不佳。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

本申请实施例提供一种曝边机及曝光方法，可以消除在曝边机内部曝光过程中基板与曝光机接触产生的静电。

本申请实施例提供一种曝边机，包括：

支撑面，以及在所述支撑面两侧相对设置的第一侧壁以及第二侧壁，其中，

在所述第一侧壁的第一表面以及第二侧壁的第二表面上设置有多个照射源，所述多个照射源用于在曝光基板时对所述支撑面进行照射，以消除所述基板与所述支撑面接触而产生的静电。

在本申请所述的曝边机中，所述支撑面由多个支撑针组成，所述多个支撑针的顶部连线形成所述支撑面，所述多个支撑针用于在曝光基板时减少所述支撑面与所述基板的接触面积。

在本申请所述的曝边机中，所述第一侧壁以及所述第二侧壁上的所述多个照射源与所述多个支撑针的顶部处于同一竖直高度。

在本申请所述的曝边机中，所述支撑面为方形的支撑面，所述多个照射源相对于所述方形的支撑面的拐角设置。

在本申请所述的曝边机中，所述多个照射源照射出的光线形成一照射面，所述照射面用于在曝光基板时对所述支撑面进行照射。

在本申请所述的曝边机中，所述照射面的照射面积大于所述支撑面的面积，以使在曝光基板时所述多个照射源照射出的光线可以覆盖所述支撑面。

本申请实施例还提供一种曝光方法，包括：

在支撑面两侧相对设置的第一侧壁的第一表面以及第二侧壁的第二表面上设置多个照射源；

在曝光基板时通过所述多个照射源对所述支撑面进行照射，以消除所述基板与所述支撑面接触产生的静电。

在本申请所述的曝光方法中，所述支撑面由多个支撑针组成，所述多个支撑针的顶部连线形成所述支撑面，所述多个支撑针用于在曝光基板时减少所述支撑面与所述基板的接触面积。

在本申请所述的曝光方法中，所述多个照射源照射出的光线形成一照射面，所述在曝光基板时通过所述多个照射源对所述支撑面进行照射，包括：

在曝光基板时通过所述照射面对所述支撑面进行照射。

在本申请所述的曝光方法中，所述照射面的照射面积大于所述支撑面的面积，以使在曝光基板时所述多个照射源照射出的光线可以覆盖所述支撑面。

本申请实施例提供的曝边机包括，支撑面，以及在所述支撑面两侧相对设置的第一侧壁以及第二侧壁，其中，在所述第一侧壁的第一表面以及第二侧壁的第二表面上设置有多个照射源，所述多个照射源用于在曝光基板时对所述支撑面进行照射，以消除所述基板与所述支撑面接触而产生的静电。本申请实施例提供的曝边机通过在侧壁设置多个照射源对支撑面进行覆盖式照射，以消除后续加工时基板放置在支撑面上产生的静电。