[发明专利]高隔离度集成电感及其制造方法

权利要求书

1.一种集成电感，包含：

一第一螺旋线圈，布局在一多层结构的一第一金属层上，而且当从垂直于该第一金属层的一第一视角观察时，该第一螺旋线圈沿顺时针方向从一第一端向内螺旋至一第二端；

一第二螺旋线圈，布局在该第一金属层上，而且当从该第一视角观察时，该第二螺旋线圈沿逆时针方向从一第三端向外螺旋至一第四端，其中该第一螺旋线圈与该第二螺旋线圈关于垂直于该多层结构的一中心线对称；

一双螺旋线圈，布局在该多层结构的一第二金属层上，而且当从该第一视角观察时，该双螺旋线圈沿顺时针方向从一第五端向外螺旋至该中心线，再沿逆时针方向从该中心线向内螺旋至一第六端，其中该双螺旋线圈关于该中心线对称；

一第一通孔，用以电连接该第二端与该第五端；以及

一第二通孔，用以电连接该第三端与该第六端。

2.如权利要求1所述的集成电感，其中该多层结构包括一介电质板，该介电质板用来给该第一金属层及该第二金属层提供一包覆。

3.如权利要求2所述的集成电感，其中该介电质板布局在一基板之上。

4.如权利要求3所述的集成电感，其中一另一集成电感布局在该基板上，该另一集成电感是权利要求3的该集成电感相对于一对称平面的镜像，该对称平面垂直于该多层结构。

5.一种集成电感的制造方法，包含：

将一第一螺旋线圈设置在一多层结构的一第一金属层上，当从垂直于该第一金属层的一第一视角观察时，该第一螺旋线圈沿顺时针方向从一第一端向内螺旋至一第二端；

在该第一金属层上设置一第二螺旋线圈，其中当从该第一视角观察时，该第二螺旋线圈沿逆时针方向从一第三端向外螺旋至一第四端，且该第一螺旋线圈与该第二螺旋线圈关于垂直于该多层结构的一中心线对称；

在该多层结构的一第二金属层上的一第五端与该第一金属层上的该第二端之间设置一第一通孔；

在该第一金属层上的该第三端与该第二金属层上的一第六端之间设置一第二通孔；

在该第二金属层上设置一第一双螺旋线圈，其中当从该第一视角观察时，该第一双螺旋线圈沿顺时针方向从该第五端向外螺旋至该中心线，再沿逆时针方向从该中心线向内螺旋至该第六端，且该第一双螺旋线圈关于该中心线对称。

6.如权利要求5所述的制造方法，其中该多层结构包括一介电质板，该介电质板用来给该第一金属层及该第二金属层提供一包覆。

7.如权利要求6所述的制造方法，其中该介电质板布局在一基板之上。

8.如权利要求7所述的制造方法，还包含：

设置一第三螺旋线圈及一第四螺旋线圈；

设置一第三通孔及一第四通孔；以及

设置一第二双螺旋线圈，使该第三螺旋线圈、该第四螺旋线圈、该第三通孔、该第四通孔及该第二双螺旋线圈为该第一螺旋线圈、该第二螺旋线圈、该第一通孔、该第二通孔及该第一双螺旋线圈相对于垂直于该多层结构的一对称平面的镜像。