[发明专利]搬运台和使用该搬运台的喷墨装置

权利要求书

1.一种搬运台，其特征在于，包括：

基台，其由多个基台构成；

高度调整部，其能够分别调整所述多个基台的高度；

引导件，其配置在所述基台上，由多个引导件构成；

可动部，其能够沿着所述引导件移动；

搬运工作台，其与所述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；

空气轴承部，其利用气体对所述可动部进行支承；以及

基板搬运部，其与所述搬运工作台连结，

所述多个引导件的重心位置位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，

所述基准构件以外的所述基台的上表面位于所述基准构件的上表面以下。

2.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

与所述空气轴承部对置的所述引导件之间的接缝形成为凹形状，所述凹形状的所述扫描方向上的宽度比所述空气轴承部的所述扫描方向上的宽度的一半小。

3.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

多个所述引导件的接缝设置为，在与所述扫描方向垂直的方向即副扫描方向的同一线上不存在多个所述接缝。

4.根据权利要求2所述的搬运台，其中，

在将从所述搬运工作台的中心轴到所述空气轴承部的最近的端部为止的扫描方向上的距离设为N、将从所述搬运工作台的中心轴到所述空气轴承部的最远的端部为止的扫描方向上的距离设为F、将所述凹形状的扫描方向上的宽度设为L1时，所述引导件的接缝之间的所述扫描方向上的距离X满足下式：

(F-N)+L1＜X＜2N-L1，或者，2F+L1＜X。

5.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

以使所述空气轴承部不通过所述引导件的接缝的区域的刚性小于所述空气轴承部通过所述引导件的接缝的区域的刚性的方式来决定所述空气轴承部从所述引导件浮起的浮起量。

6.根据权利要求3所述的搬运台，其中，

所述基台是能够在所述副扫描方向上被分割的结构，

所述基台的副扫描方向上的接缝处于比所述引导件靠外侧的位置。

7.一种喷墨装置，其特征在于，具有：

至少一个以上的台架，其配置为跨越权利要求1所述的搬运台；

行式头，其固定于所述台架，且向所述搬运工作台上的印刷对象物喷出墨液；

印刷位置观测单元，其获取从所述行式头喷出的液滴坐标；以及

控制部，其使用由所述印刷位置观测单元获得的所述液滴坐标，来修正从所述行式头喷出墨液的喷出时机。

8.根据权利要求7所述的喷墨装置，其中，

所述行式头位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方。

9.根据权利要求7所述的喷墨装置，其中，

所述行式头位于在扫描方向上比所述引导件之间的接缝靠所述喷墨装置的中央侧的位置。

10.根据权利要求7所述的喷墨装置，其中，

所述行式头位于在扫描方向上比所述基台的接缝靠所述喷墨装置的中央侧的位置。

11.一种搬运台，其特征在于，包括：

基台，其由多个基台构成；

高度调整部，其能够分别调整所述多个基台的高度；

引导件，其配置在所述基台上，由多个引导件构成；

可动部，其能够沿着所述引导件移动；

搬运工作台，其与所述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；

空气轴承部，其利用气体对所述可动部进行支承；以及

基板搬运部，其与所述搬运工作台连结，

所述多个引导件的重心位置位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，

所述基准构件以外的所述基台的上表面位于所述基准构件的上表面以下，

多个所述引导件的接缝设置为，在与所述扫描方向垂直的方向即副扫描方向上。