[发明专利]搬运台和使用该搬运台的喷墨装置

说明书

本发明提供抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。该搬运台包括：由多个基台构成的基台；能够分别调整上述多个基台的高度的高度调整部；配置在上述基台上且由多个引导件构成的引导件；能够沿着上述引导件移动的可动部；与上述可动部连接且将基板沿扫描方向搬运的搬运工作台；利用气体对上述可动部进行支承的空气轴承部；以及与上述搬运工作台连结的基板搬运部，上述多个引导件的重心位置位于上述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，上述基准构件以外的上述基台的上表面位于上述基准构件的上表面以下。

技术领域

本发明涉及搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。尤其是涉及大型搬运台和使用该大型搬运台的喷墨装置。

背景技术

近年来，使用喷墨装置来制造设备的方法受到关注。喷墨装置具有进行液滴喷出的多个喷嘴，通过一边控制喷嘴与印刷对象物的位置关系一边从喷嘴喷出液滴，从而向印刷对象物涂敷液滴。

作为这种喷墨装置之一，已知有具备被称为行式头的沿印刷对象物的宽度方向并列设置的多个模块头(具有多个喷出口的液滴喷出头)的喷墨装置。通过将该行式头沿副扫描方向并列配置，从而能够在一次搬运工序中向宽度大的印刷对象物一并涂敷墨液。

此外，虽然需要扫描方向的长度，但通过在扫描方向上还搭载多个沿副扫描方向并列设置的行式头，由此能够在一次搬运工序的期间向印刷对象物一并涂敷例如颜色不同等的多种墨液。

根据该结构，针对大型的印刷对象物也能够在一次搬运工序中一并涂敷多种墨液，因此，能够降低向印刷对象物涂敷墨液的生产节拍，并且，容易使墨液涂敷后的干燥条件等变得均匀，因此，具有例如能够均匀地控制墨液膜厚等印刷工艺上的优点。

需要说明的是，在上述结构的喷墨装置中，印刷对象物的行进再现性成为决定喷墨装置的喷出精度的重要因素之一，因此，在需要进行高精度的涂敷的情况下，就印刷对象物的搬运方法而言，广泛知晓有利用静压轴承一边支承一边搬运的结构。

然而，近年来，为了提高生产率，谋求印刷对象物的进一步的大型化。当印刷对象物变大时，搬运距离相应地变长，搭载印刷对象物并沿扫描方向移动的引导件也必然需要变长。因此，产生无法用一个构件进行加工及制作这样的问题。因此，需要将多个构件拼接来制作引导件。但是，由于接缝部处的高低差和间隙等的影响而产生行进再现性变差这样的问题。

利用图11的剖视图对现有技术进行说明。如图11所示，在现有技术中，将构成引导件的多个构件的接缝60设成了作为凹形状61的冕形状。这样，在接缝60处不存在凸部。其结果是，在搬运印刷对象物的可动部11移动时，防止空气轴承部12与凸部的接触，提供高精度的精密工作台(例如专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4346067号公报

然而，存在作为凹形状61的冕形状的深度越深则在可动部11行进时越会产生振动这样的课题。当产生振动时，例如由于行式头与印刷对象物的角度变化而导致从行式头向印刷对象物涂敷液滴时的精度变差。需要说明的是，虽能够通过使凹形状61的冕形状变浅来缩小振动，但关于使凹形状61的冕形状变浅到何种程度，是由平面度等加工性能来决定的值，并且，难以抑制到使振动完全消失。

此外，即便能够以使与空气轴承部对置的引导件精度良好地成为同一平面的方式进行加工，但若搭载引导件的基台上表面不在同一平面，则在并列引导件时产生高低差，导致行进精度变差。

因此，谋求如下的方法：即便在引导件及支承引导件的基台由多个构成构件构成的情况下，也进一步减少可动部经由空气轴承部在引导件上扫描时的振动。

发明内容

即，本发明的课题在于，提供一种抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台以及使用该搬运台的喷墨装置。