[发明专利]一种用于半导体加工的可旋转的定位装置

权利要求书

1.一种用于半导体加工的可旋转的定位装置，其特征在于：包括夹具座(2)、电机座(4)、定位台(7)、控制箱(11)，所述定位台(7)下方设置有所述控制箱(11)和支腿(8)，所述支腿(8)和所述定位台(7)之间通过电焊焊接，所述控制箱(11)和所述定位台(7)之间通过螺栓连接，所述控制箱(11)内设置有隔板(30)，所述隔板(30)上方设置有控制器(29)和处理器(32)，所述控制器(29)和所述处理器(32)分别通过螺钉固定在所述隔板(30)上，所述隔板(30)下方设置有变频器(31)，所述变频器(31)通过螺钉固定在所述控制箱(11)内，所述定位台(7)上方一端设置有控制台(14)，所述控制台(14)通过螺钉固定在所述定位台(7)上，所述定位台(7)上方另一端设置有固定座(16)，所述固定座(16)通过螺栓固定在所述定位台(7)上，所述固定座(16)上方设置有第一支撑座(6)和第二支撑座(17)，所述第一支撑座(6)和所述第二支撑座(17)分别与所述固定座(16)之间通过螺栓连接，所述第一支撑座(6)和所述第二支撑座(17)之间设置有连接座(18)，所述连接座(18)分别与所述第一支撑座(6)和所述第二支撑座(17)之间通过轴承连接，所述第一支撑座(6)上设置有角度电机(5)，所述角度电机(5)和所述第一支撑座(6)之间通过螺栓连接，所述第二支撑座(17)上设置有第一编码器(21)，所述第一编码器(21)通过螺钉固定在所述第二支撑座(17)上，所述连接座(18)上方设置有所述电机座(4)，所述电机座(4)和所述连接座(18)之间通过螺栓连接，所述电机座(4)内设置有旋转电机(25)，所述旋转电机(25)和所述电机座(4)之间通过螺栓连接，所述旋转电机(25)下方设置有第二编码器(26)，所述第二编码器(26)和所述电机座(4)之间通过螺钉连接，所述电机座(4)上方设置有支撑导向结构(3)，所述支撑导向结构(3)上方设置有所述夹具座(2)，所述夹具座(2)上面设置有夹紧块(1)，所述夹紧块(1)和所述夹具座(2)之间为滑动连接，所述夹具座(2)侧面设置有夹紧电机(19)，所述夹紧电机(19)和所述夹具座(2)之间通过螺栓连接，所述夹紧电机(19)另一端设置有扭力传感器(20)，所述扭力传感器(20)和所述夹紧电机(19)之间通过螺钉连接，所述夹具座(2)内设置有夹紧盘(27)和锥齿轮(28)，所述夹紧盘(27)和所述夹具座(2)之间通过轴承连接，所述锥齿轮(28)和所述夹紧电机(19)之间通过花键连接，所述锥齿轮(28)和所述夹紧盘(27)之间啮合在一起，所述夹紧盘(27)和所述夹紧块(1)之间啮合在一起，所述角度电机(5)、所述夹紧电机(19)和所述旋转电机(25)分别通过导线连接到所述变频器(31)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的可旋转的定位装置，其特征在于：所述支腿(8)之间设置有支撑梁(9)，所述支腿(8)和所述支撑梁(9)之间通过电焊焊接。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体加工的可旋转的定位装置，其特征在于：所述支腿(8)下方设置有支脚(10)，所述支脚(10)和所述支腿(8)之间通过螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体加工的可旋转的定位装置，其特征在于：所述控制台(14)上设置有触摸显示屏(13)，所述触摸显示屏(13)通过螺钉固定在所述控制台(14)上。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体加工的可旋转的定位装置，其特征在于：所述触摸显示屏(13)前方设置有扬声器(15)和快捷键盘(12)，所述处理器(32)、所述变频器(31)和所述扬声器(15)分别通过导线连接到所述控制器(29)，所述快捷键盘(12)、所述触摸显示屏(13)、所述第一编码器(21)、所述扭力传感器(20)和所述第二编码器(26)分别通过导线连接到所述处理器(32)。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体加工的可旋转的定位装置，其特征在于：所述扬声器(15)和所述快捷键盘(12)分别通过螺钉固定在所述控制台(14)上。