[发明专利]TFT玻璃薄化工艺蚀刻液在审
| 申请号： | 201811297070.2 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109081601A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 杨奕琳;赵开秋;张继红 | 申请（专利权）人： | 邓惠玉;杨奕琳;赵开秋;张继红 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙) 12219 | 代理人： | 陶怡 |
| 地址： | 528199 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重量百分比 蚀刻液 薄化 羟丙基甲基纤维素 醇聚氧乙烯醚 葡萄糖酸内酯 中链甘油三酯 质量百分比 氢氟酸 渗透剂 盐酸 优选 | ||
【权利要求书】：
1.TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量5％-8％的盐酸，重量百分比含量2％-4％的葡萄糖酸内酯，重量百分比含量4％～7％的氢氟酸，重量百分比含量0.3～0.5％的中链甘油三酯、重量百分比3～5％的C8-10醇聚氧乙烯醚，质量百分比1-2％的羟丙基甲基纤维素及余量的水。
2.如权利要求1所述的TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量6-7％的盐酸，重量百分比含量2.5-3.5％的葡萄糖酸内酯，重量百分比含量5％～6％的氢氟酸，重量百分比含量0.3～0.5％的中链甘油三酯、重量百分比3.5％～4.5％的C8-10醇聚氧乙烯醚，质量百分比1.5-2％的羟丙基甲基纤维素及余量的水。
3.如权利要求1或2所述的TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，其特征是所述C8-10醇聚氧乙烯醚为渗透剂OE-6。
4.如权利要求1或2所述的TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，其特征是所述中链甘油三酯为C8～C10脂肪酸的甘油三酯。
5.如权利要求1或2所述的TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，其特征是所述羟丙基甲基纤维素的粘度规格为3000～6000mpa.s。
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