[发明专利]TFT玻璃薄化工艺蚀刻液

说明书

TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量5‑8％的盐酸(HCl)，重量百分比含量2‑4％的葡萄糖酸内酯，重量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，重量百分比含量0.3～0.5％的中链甘油三酯(MCT，优选)、重量百分比3～5％的C8‑10醇聚氧乙烯醚(渗透剂OE‑6)质量百分比1‑2％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)及余量的水。

技术领域

本发明涉及用于TFT玻璃基板蚀刻组合物。

背景技术

在现有技术中，为满足制作超薄TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)显示屏的要求，需要对现有规格玻璃基板进行薄化处理。常规的氢氟酸作为蚀刻液的蚀刻方式会产生局部缺陷，一般须要在薄化完成后进行抛光处理。抛光后的玻璃基板表面光泽度高，但易产生眩光，需要进行额外的防眩处理。如中国专利2016112686887公开了TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂，其配方为以TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂，其特征在于所述预处理剂由以下组分组成：质量百分比含量8～12％的盐酸(HCl)，质量百分比含量3-5％的硝酸，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分含量0.1～0.2％的氯化钙，质量百分比含量1～2％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)，质量百分比含量0.5～1％的结冷胶，及余量的水。采用该预处理剂对液晶玻璃基板进行预处理后，再进行薄化处理后可以提高薄化处理的质量，但还需要进行抛光，无论是作为薄化预处理剂还是直接作为薄化用蚀刻液，采用该预处理均无法在玻璃表面形成适当的雾度以防眩。中国专利文献CN2011102930815公开了一种防眩玻璃的蚀刻液，但在研究中发现，采用这种方式制得的防眩玻璃在仅能用于对TFT基板进行表面进行处理，无法直接用于薄化，尤其无法实现在薄化的同时即提高薄化后基板的表面质量，又能使玻璃基板表面产生适当的雾度从而产生防眩效果。因此提供能够防眩的TFT玻璃薄化蚀刻液，能够在玻璃基板进行薄化的同时，使表面产生合适的雾度从而实现防眩效果，成为现有技术中亟待解决的问题。

发明内容

为解决前述技术问题，本发明提供了用于TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，通过优选蚀刻液的处方，并采用适当的薄化处理工艺，意外的发现在对TFT玻璃基板的进行薄化的同时，可以在基板表面形成适当的雾度，并能够减少表面进行防眩减反射处理的效果。为解决前述技术问题本发明采用的技术方案为：

提供了TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量5％-8％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量2％-4％的葡萄糖酸内酯，重量百分比含量4％～7％的氢氟酸(以HF计)，重量百分比含量0.3～0.5％的中链脂肪酸甘油三酯(MCT)、重量百分比3～5％的C8-10醇聚氧乙烯醚，质量百分比1-2％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)及余量的水。

所述的TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量6-7％的盐酸，重量百分比含量2.5-3.5％的葡萄糖酸内酯，重量百分比含量5％～6％的氢氟酸，重量百分比含量0.3～0.5％的中链甘油三酯(MCT)、重量百分比3.5～4.5％的C8-10醇聚氧乙烯醚，质量百分比1.5-2％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)及余量的水。

所述的TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，其特征是所述C8-10醇聚氧乙烯醚为渗透剂OE-6，其所述中链甘油三酯为C8～C10脂肪酸的甘油三酯。所述羟丙基甲基纤维素的粘度规格为3000～6000mpa.s，优选4000mpas

所述用于TFT玻璃薄化工艺蚀刻液，其特征在于以如下方法配制，

1)将处方量盐酸与氢氟酸混合，加入适量水稀释，

2)将处方量的羟丙基甲基纤维素(HPMC)和葡萄糖酸内酯分别溶于水后混合；

3)将处方量的C8-10醇聚氧乙烯醚和MCT混合后加入适量水乳化分散

4)先将步骤1)和步骤2)得到的混合液混合，在搅拌条件下再将步骤3)的混合液缓缓加入后混合均匀。