[发明专利]一种叠层器件、清洗装置及方法

权利要求书

1.一种叠层器件的清洗方法，通过清洗装置对叠层器件进行清洗，所述叠层器件包括：衬底及若干支撑柱；若干所述支撑柱固定设置在所述衬底上；所述支撑柱上设置有若干叠片；若干所述叠片均匀间隔设置在所述支撑柱上，若干所述叠片中每两个叠片之间相平行，所述叠层器件的清洗装置包括：激光器及聚焦透镜；所述聚焦透镜设置在所述激光器与所述叠层器件之间；所述激光器的发射端对准所述聚焦透镜，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：

将所述叠层器件表面喷涂清洗液，使清洗液分布扩散；

将所述叠层器件设置在所述清洗液内；

将聚焦透镜设置在激光器与所述叠层器件之间；

开启激光器，所述激光器发射高频脉冲激光，通过所述聚焦透镜聚焦到所述叠层器件的若干支撑柱之间的间隙形成激光聚焦作用点，所述激光聚焦作用点在所述清洗液的液面以下；

所述支撑柱上的若干叠片之间形成若干切割沟道槽，所述高频脉冲激光冲击所述清洗液，连续作用所述清洗液，使所述清洗液浸入到所述切割沟道槽进行清洗；

移动所述激光器或所述叠层器件的衬底，使所述激光聚焦作用点沿着切割沟道槽移动，移动位置覆盖所有切割沟道槽，完成所述叠层器件的清洗。

2.根据权利要求1所述的叠层器件的清洗方法，其特征在于：

所述衬底为硅片衬底。

3.根据权利要求1所述的叠层器件的清洗方法，其特征在于：

所述支撑柱及叠片的材质均为硅晶圆。

4.根据权利要求1所述的叠层器件的清洗方法，其特征在于，所述叠层器件的清洗装置还包括：第一驱动机构；

所述第一驱动机构与所述激光器及聚焦透镜连接。

5.根据权利要求4所述的叠层器件的清洗方法，其特征在于，所述第一驱动机构包括：框架及油缸；

所述框架上设置所述激光器及聚焦透镜；

所述油缸的伸缩端与所述框架连接。

6.根据权利要求5所述的叠层器件的清洗方法，其特征在于：

所述油缸的伸缩端与所述叠层器件平行。

7.根据权利要求1所述的叠层器件的清洗方法，其特征在于，所述叠层器件的清洗装置还包括：第二驱动机构；

所述第二驱动机构与所述叠层器件的底部连接。