[发明专利]移载设备以及移载方法

说明书

本发明是在货叉单元(40)与移载机(20)之间对盒体(90)进行移载的移载设备(10)，其具备推动件(25)，该推动件(25)对盒体(90)在货叉单元(40)的载置面(41a)的位置进行限制，货叉单元(40)在载置面(41a)上具备浮动单元(50)，浮动单元(50)为将具备物品载置支承用的支承部(51)的活动部(52)托挡支承为相对于固定部(53)沿水平方向移动自如的构造，盒体(90)支承于物品载置支承用的支承部(51)，使得活动部(52)能够相对于固定部(53)沿水平方向移动、且利用推动件(25)对盒体(90)的位置进行限制，由此进行盒体(90)的定位。

技术领域

本发明涉及在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载的移载设备，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动。

背景技术

作为上述移载设备，例如存在将收纳有基板的盒体(物品)向作为处理装置的腔室移载的设备(例如参照专利文献1)。专利文献1的移载设备中，盒体输送单元(第一移载机)将由输送台车单元输送的盒体向设备内输入，盒体移载单元(第二移载机)将由盒体输送单元输入的盒体向腔室输入。或者，盒体移载单元将输入到腔室内的盒体输出，盒体输送单元将由盒体移载单元输送的盒体向输送台车单元移载。

对于由盒体输送单元从输送台车单元移载的盒体，在利用盒体移载单元将该盒体向腔室输入之前，将该盒体载置于在腔室的上方所设置的承接台。同样地，对于由盒体移载单元从腔室输出的盒体，在利用盒体输送单元将该盒体向输送台车单元移载之前，将该盒体载置于承接台。

盒体移载单元从上方对盒体进行把持并使其进行升降移动，由此，将载置于承接台的盒体向腔室输入、或者将从腔室输出的盒体向承接台输入。

专利文献

专利文献1：韩国登记专利第10－1511963号公报

发明内容

但是，如上所述的移载设备中，当在盒体输送单元(第一移载机)与盒体移载单元(第二移载机)之间对盒体(物品)进行移载时，需要在移载中途暂时将盒体(物品)载置于承接台的动作。此外，当盒体移载单元(第二移载机)对盒体(物品)进行把持并使其进行升降移动时，盒体(物品)与承接台发生干扰，因此，为了避免与承接台发生干扰，需要使盒体(物品)回旋等动作。因此，存在如下问题，即，盒体输送单元(第一移载机)与盒体移载单元(第二移载机)之间的盒体(物品)的移载耗费时间。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够高效地对第一移载机与第二移载机之间的物品进行移载的移载设备，其中，所述第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，所述第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动。

本发明所要解决的课题如上所述，接下来，对用于解决该课题的方案进行说明。

即，本发明的移载设备是在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载的移载设备，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动，其中，具备位置限制装置，该位置限制装置与载置于所述第一移载机的载置面的物品的侧面抵接而对所述物品在所述载置面的位置进行限制，所述第一移载机在其载置面上具备浮动单元，所述浮动单元是将具备物品载置支承用的支承部的活动部托挡支承为相对于固定部在水平方向上移动自如的构造，所述物品支承于所述物品载置支承用的支承部，使得所述活动部能够相对于所述固定部沿水平方向移动、且利用所述位置限制装置对所述物品的位置进行限制，由此在所述载置面上进行物品相对于所述第二移载机的升降位置的定位。

上述结构中，载置于第一移载机的载置面的物品被定位于第二移载机的升降位置。

本发明的移载设备在上述移载设备的基础上，具备定位机构，该定位机构进行所述第一移载机相对于所述第二移载机的升降位置的定位。