[发明专利]触控基板及其制作方法、显示装置

说明书

本发明提供了一种触控基板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。其中，所述触控基板包括位于衬底基板上、依次设置的第一触控电极、第一绝缘层、第二触控电极和第二绝缘层，所述触控基板的制作方法包括：通过一次构图工艺形成所述第二触控电极和所述第二绝缘层的图形。本发明的技术方案，能够减少制作触控基板所需要的掩膜板数量，减少制作触控基板的构图工艺次数，缩短触控基板的生产时间，降低触控基板的制作成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是指一种触控基板及其制作方法、显示装置。

背景技术

智能手机和平板电脑的普及，让触控屏渗透到人类生活的方方面面，触控屏已成为信息时代人们生产生活必不可少的生活必需品。

Mask(掩膜板)是触控屏生产所必需的的模具，由于其造价昂贵，在触控屏生产成本中占有很大比例。现有触控屏如果有支持主动笔等要求至少需要4张或以上的mask来制作，mask成本占开发费用比重太高，不利于生产成本的降低；触控屏生产采用黄光工艺，4张mask就至少需要4道黄光工艺，生产周期长，使得触控屏的成本较高，限制了触控屏的发展。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种触控基板及其制作方法、显示装置，能够减少制作触控基板所需要的掩膜板数量，减少制作触控基板的构图工艺次数，缩短触控基板的生产时间，降低触控基板的制作成本。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：

一方面，提供一种触控基板的制作方法，所述触控基板包括位于衬底基板上、依次设置的第一触控电极、第一绝缘层、第二触控电极和第二绝缘层，所述制作方法包括：

通过一次构图工艺形成所述第二触控电极和所述第二绝缘层的图形。

进一步地，所述触控基板还包括黑矩阵和/或对位标记，所述制作方法还包括：

采用印刷方式形成所述触控基板的黑矩阵和/或对位标记。

进一步地，形成所述第一绝缘层包括：

形成整层的透明的所述第一绝缘层。

进一步地，采用磁控溅射方式形成整层的SiO2或SiOxNy作为所述第一绝缘层。

进一步地，还包括：

通过一次构图工艺形成所述第一触控电极和所述第一绝缘层的图形。

进一步地，所述第一绝缘层采用光刻胶，所述通过一次构图工艺形成所述第一触控电极和所述第一绝缘层的图形包括：

形成第一金属层；

在所述第一金属层上涂覆光刻胶；

采用掩膜板对所述光刻胶进行曝光，显影后形成所述第一绝缘层的图形；

去除掉未被所述第一绝缘层的图形覆盖的第一金属层，形成所述第一触控电极。

进一步地，所述第二绝缘层采用光刻胶，所述通过一次构图工艺形成所述第二触控电极和所述第二绝缘层的图形包括：

形成第二金属层；

在所述第二金属层上涂覆光刻胶；

采用掩膜板对所述光刻胶进行曝光，显影后形成所述第二绝缘层的图形；

去除掉未被所述第二绝缘层的图形覆盖的第二金属层，形成所述第二触控电极。

进一步地，形成所述第二触控电极和所述第二绝缘层的图形之后，所述制作方法还包括：

对所述第二绝缘层的图形进行退火工艺，使得所述第二绝缘层的图形包覆所述第二触控电极的侧表面。