[发明专利]一种法拉第真空移动装置

权利要求书

1.本发明公开了一种法拉第真空移动装置。该装置主要包括：法拉第真空腔体，法拉第底座，移动组件，限位挡块，直线导轨及滑块，光栅尺及编码器，直线电机，限位开关磁铁。特征在于：该装置通过直线电机驱动，由导轨及滑块支撑限位，借助光栅尺及编码器反馈位置信息来测量离子束。

2.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是整个装置分为三部分，法拉第真空腔体，为法拉第提供真空环境。法拉第底座为整个移动装置提供支撑。移动组件为法拉第提供动力，并反馈实时位置。

3.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是直线电机为法拉第提供动力，定子固定在底座，动子与法拉第支持手臂相连。

4.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是直线导轨及滑块提供较高精度的移动及支撑，限位挡块能够防止滑块超出行程脱落。

5.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是光栅尺及编码器实时反馈准确的位置信息，限位开关磁铁提供限位及回零，防止直线电机超过预设行程。