[发明专利]HIT电池及其金属栅线印刷方法在审
申请号: | 201811311794.8 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN109585573A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 何成鹏;徐江;杜建伟 | 申请(专利权)人: | 武汉三工智能装备制造有限公司 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/0224;H01L31/0747;H01L31/20 |
代理公司: | 深圳市港湾知识产权代理有限公司 44258 | 代理人: | 微嘉 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电薄膜 金属栅线 印刷区域 两层 印刷 电池 电池内阻 电池效率 接触电阻 相对设置 凹槽处 形成面 成形 减小 粗糙 消耗 | ||
1.一种HIT电池,其特征在于,包括:
两层导电薄膜,两层所述导电薄膜呈相对设置,两层所述导电薄膜相互远离的端面为形成面,两层所述导电薄膜的形成面上均形成有印刷区域,其中,至少一所述导电薄膜的印刷区域内至少部分设有多个凹槽;以及,
两层金属栅线,分别印刷形成至两层所述导电薄膜的印刷区域。
2.如权利要求1所述的HIT电池,其特征在于,所述导电薄膜的厚度为H1,所述凹槽的平均深度为H2,且0<H2/H1≤0.8。
3.如权利要求2所述的HIT电池,其特征在于,0.5≤H2/H1≤0.7。
4.如权利要求1所述的HIT电池,其特征在于,所述导电薄膜的材质为氧化锌、二氧化锡、氧化铟、二氧化钛、锡酸镉、锡酸锌中的一种。
5.如权利要求1所述的HIT电池,其特征在于,还包括:
单晶硅片;
两层本征非晶硅层,分别形成于所述单晶硅片的两个端面上;
P型非晶硅层,形成于其中之一所述本征非晶硅层的端面上,且所述P型非晶硅层的端面上形成有一所述导电薄膜;以及,
N型非晶硅层,形成于另一所述本征非晶硅层的端面上,且所述N型非晶硅层的端面上形成有另一所述导电薄膜。
6.一种HIT电池金属栅线印刷方法,其特征在于,包括以下步骤:
在HIT电池的非晶硅层上形成导电薄膜;
处理所述导电薄膜,以使所述导电薄膜的印刷区域至少部分形成凹槽;
将金属栅线印刷至所述印刷区域。
7.如权利要求6所述的HIT电池金属栅线印刷方法,其特征在于,所述处理所述导电薄膜,以使所述导电薄膜的印刷区域至少部分形成凹槽的步骤中:
处理所述导电薄膜的方式为激光加工、机械加工、化学处理中的一种。
8.如权利要求7所述的HIT电池金属栅线印刷方法,其特征在于,处理所述导电薄膜的方式为激光加工,所述激光加工过程中采用的是飞秒激光器。
9.如权利要求6所述的HIT电池金属栅线印刷方法,其特征在于,所述在HIT电池的非晶硅层上形成导电薄膜的步骤包括:
在单晶硅片的两个相对端面上分别形成两层本征非晶硅层;
在其中之一所述本征非晶硅层上形成P型非晶硅层;
在另一所述本征非晶硅层上形成N型非晶硅层;
在所述P型非晶硅层及所述N型非晶硅层分别上形成导电薄膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的